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J-GLOBAL ID：201702244493455174   整理番号：17A0330387

ケイ素ナノ多孔性ピラーアレイの上に成長した硫化カドミウムのLiCl強化静電容量湿度検出特性

LiCl-enhanced capacitive humidity-sensing properties of cadmium sulfide grown on silicon nanoporous pillar array

著者 (4件)： FENG Ming Hai (Zhengzhou Univ., Zhengzhou, CHN) ,  FENG Ming Hai (Xinyang Normal Univ., Xinyang, CHN) ,  WANG Wen Chuang (Henan Inst. of Engineering, Zhengzhou, CHN) ,  LI Xin Jian (Zhengzhou Univ., Zhengzhou, CHN)
資料名： Journal of Materials Science  (Journal of Materials Science)
巻： 52  号： 7  ページ： 3841-3848  発行年： 2017年04月 
JST資料番号： B0722A  ISSN： 0022-2461  CODEN： JMTSAS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ケイ素ナノ多孔性ピラーアレイ(Si-NPA)上に硫化カドミウム(CdS)を成長させてプロトタイプの湿度センサを調製しその湿度検出特性を調べた。Si-NPA基板はBドープSi単結晶ウエハを水熱腐食して作製した。Si-NPA上へのCdSの堆積にはSILAR法を用いた。得られたCdS/Si-NPAをLiClの飽和水溶液に浸漬してLiCl:CdS/Si-NPAを得た。CdS/Si-NPAとLiCl:CdS/Si-NPAの湿度検出特性を比較した。その結果,応答とその線形性,応答と回復時間,ヒステリシス,測定の再現性と安定性等の湿度検出特性はLiCl浸漬により顕著に向上することが明らかになった。LiCl浸漬CdS/Si-NPAは低~中程度の湿度範囲での湿度センサの作製用として有望な材料である。

シソーラス用語： *ケイ素 ,  多孔性 ,  ナノ構造 ,  配列 ,  柱 ,  結晶成長 ,  *硫化カドミウム ,  *湿度センサ ,  静電容量 ,  感度 ,  ウエハ【IC】 ,  吸着 ,  浸漬 ,  塩化リチウム ,  応答特性 ,  線形性 ,  応答時間 ,  ヒステリシス ,  再現性 ,  安定性
準シソーラス用語： SILAR法 ,  ケイ素ウエハ ,  ナノ多孔性 ,  ピラーアレイ ,  検出性能 ,  静電容量センサ ,  ナノピラー

分類 (2件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (8件)： ケイ素 ,  ナノ多孔性 ,  ピラーアレイ ,  成長 ,  硫化カドミウム ,  強化 ,  静電容量 ,  湿度