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J-GLOBAL ID：201702244494883414   整理番号：17A0407193

透明導電性SnO_2の酸素制御された構造と性質:F膜【Powered by NICT】

Oxygen-controlled structures and properties of transparent conductive SnO₂:F films

著者 (6件)： Wu Fayu (School of Materials Science and Metallurgy, University of Science and Technology Liaoning, China) ,  Tong Xinru (School of Materials Science and Metallurgy, University of Science and Technology Liaoning, China) ,  Zhao Zhuo (School of Materials Science and Metallurgy, University of Science and Technology Liaoning, China) ,  Gao Jianbo (School of Materials Science and Metallurgy, University of Science and Technology Liaoning, China) ,  Zhou Yanwen (School of Materials Science and Metallurgy, University of Science and Technology Liaoning, China) ,  Kelly Peter (Surface Engineering Group, Manchester Metropolitan University, Chester Street, Manchester, M1 5GD, UK)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 695  ページ： 765-770  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 0~3sccmの酸素流を変化させてRFマグネトロンスパッタリングにより堆積した透明SnO_2:F(FTO)膜の形態と特性を調べた。0~1sccm O_2で堆積したFTO膜の場合,極性不飽和(101)面は10~ 3Ωcm程度の低抵抗率値をもたらし,優先配向及び可視域で86.5%の透過性を示した。{101}ファセットに関連した飽和した(110)配向面は2sccm O_2で調製したFTO膜のための膝双晶微結晶を形成した。O_2の増加は結晶の重篤な誤配向をもたらした。可視範囲の平均透過率は95%まで増加したが,これらのFTO膜はO_2の過剰供給に起因することはほとんどない導電性を示した。光学バンドギャップは最初に広いとなり,酸素流量の増加として再び狭くなった。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 電気抵抗率 ,  マグネトロンスパッタリング ,  ファセット ,  *酸素 ,  透過率 ,  優先配向 ,  双晶 ,  光学ギャップ ,  微結晶 ,  極性 ,  *導電性
準シソーラス用語： 酸素流量 ,  ミスオリエンテーション ,  透過性 ,  RFマグネトロンスパッタリング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： FTO ,  構造 ,  TCO材料 ,  マグネトロンスパッタリング ,  酸素流

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (3件)： 導電性 ,  酸素 ,  性質