文献

J-GLOBAL ID：201702244536315448   整理番号：17A0445139

陰極真空アークによるCH_4とC_2H_2反応性雰囲気中で調製したTiSiC Cr被覆の構造,機械的およびトライボロジー特性の比較研究【Powered by NICT】

A comparative study of the structural, mechanical and tribological characteristics of TiSiC-Cr coatings prepared in CH₄ and C₂H₂ reactive atmosphere by cathodic vacuum arc

著者 (14件)： Braic Mariana (National Institute for Optoelectronics, 409 Atomistilor St., Magurele-Bucharest, Romania) ,  Vladescu Alina (National Institute for Optoelectronics, 409 Atomistilor St., Magurele-Bucharest, Romania) ,  Balaceanu Mihai (National Institute for Optoelectronics, 409 Atomistilor St., Magurele-Bucharest, Romania) ,  Luculescu Catalin (National Institute for Laser, Plasma and Radiation Physics, 409 Atomistilor St., 077125 Magurele-Bucharest, Romania) ,  Padmanabhan Sibu C. (University College Cork, Department of Chemistry, College Road, Cork, Ireland) ,  Padmanabhan Sibu C. (Advanced Materials and BioEngineering Research (AMBER), Trinity College Dublin, College Green, Dublin 2, Ireland) ,  Constantin Lidia (National Institute for Optoelectronics, 409 Atomistilor St., Magurele-Bucharest, Romania) ,  Morris Michael A. (University College Cork, Department of Chemistry, College Road, Cork, Ireland) ,  Morris Michael A. (Advanced Materials and BioEngineering Research (AMBER), Trinity College Dublin, College Green, Dublin 2, Ireland) ,  Braic Viorel (National Institute for Optoelectronics, 409 Atomistilor St., Magurele-Bucharest, Romania) ,  Ana Grigorescu Cristiana Eugenia (National Institute for Optoelectronics, 409 Atomistilor St., Magurele-Bucharest, Romania) ,  Ionescu Paul (Horia Hulubei National Institute in Physics and Nuclear Engineering, 30 Reactorului St., 077125 Magurele-Bucharest, Romania) ,  Dracea Maria Diana (Horia Hulubei National Institute in Physics and Nuclear Engineering, 30 Reactorului St., 077125 Magurele-Bucharest, Romania) ,  Logofatu Constantin (National Institute of Materials Physics, 105bis Atomistilor St., 077125 Magurele-Bucharest, Romania)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 400  ページ： 318-328  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 添加元素としてCrおよびSiを含む,TiSiC-Cr皮膜を,陰極アーク蒸発によるSi,Cの45と316L鋼基板上に堆積した。3.6 3~0.9μmの範囲の厚さをもつ被覆の二シリーズが生成し,炭素含有ガスとしてCH_4またはC_2H_2をした。各シリーズでは,種々の被覆は90~130sccmの間の炭素リッチガス流量を変化させることにより調製した,一定カソード電流(TiSiとCrカソードで110と100a),基板バイアス( 200V)と基板温度(~320°C)を維持した。被覆は,それらの機械的特性(硬度,接着)とトライボロジー性能(摩擦,摩耗),元素及び相組成,化学結合,結晶構造,断面形態と共に分析した。被覆炭化物結晶(粒径3.1 8 2nm)と非晶質水素化炭素から成るナノスケール複合材料構造で形成されることがわかった。実験結果は,二被覆系列間で大きな違いを示し,C_2H_2から形成された膜は微細構造,形態,硬度,摩擦挙動と耐摩耗性の観点から,著しく優れた特性を示した。CH_4を用いて調製した皮膜では,微結晶サイズ,硬度,摩擦係数と摩耗速度の測定値は7.2 8~1.2nm,26 30GPa,0.3 0.4と2.1 4.8×10~ 6mm~3N~ 1m~ 1の範囲にあったが,C_2H_2で成長した皮膜に対して,これらの特性の値は3.1 3~0.7nm,45GPa,0.1 0.2と1.4 3.0×10~ 6mm~3N~ 1m~ 1の範囲でであった。調べた被覆の中で,最高の流量(130sccm)でC_2H_2を用いて製造したものは最高の硬さ(45.1GPa),最も低い摩擦係数(0.10)と最良の摩耗抵抗(摩耗速度1.4×10~ 6mm~3N~ 1m~ 1)を示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *アーク放電 ,  耐摩耗性 ,  粒径 ,  *トライボロジー ,  *クロム ,  摩耗 ,  *ケイ素 ,  炭化物 ,  硬度 ,  摩擦係数 ,  相組成 ,  摩耗速度 ,  合金元素 ,  炭素 ,  基板温度

著者キーワード (5件)： TiSiC Cr被覆 ,  陰極アーク ,  構造 ,  機械的性質 ,  摩擦と摩耗

分類 (2件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C) ,  金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V)

タイトルに関連する用語 (8件)： 陰極 ,  真空アーク ,  反応性 ,  雰囲気 ,  調製 ,  Cr ,  トライボロジー特性 ,  研究