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J-GLOBAL ID：201702244546391070   整理番号：17A0901054

インパルス励起技術による薄膜のYoung率の決定に関して

On the determination of Young’s modulus of thin films with impulse excitation technique

著者 (5件)： SLIM M.F. (Univ. de Technol. de Troyes, Nogent, FRA) ,  ALHUSSEIN A. (Univ. de Technol. de Troyes, Nogent, FRA) ,  BILLARD A. (UTBM, Belfort, FRA) ,  SANCHETTE F. (Univ. de Technol. de Troyes, Nogent, FRA) ,  FRANCOIS M. (Univ. de Technol. de Troyes, Nogent, FRA)
資料名： Journal of Materials Research  (Journal of Materials Research)
巻： 32  号： 3  ページ： 497-511  発行年： 2017年02月14日 
JST資料番号： D0987B  ISSN： 0884-2914  CODEN： JMREEE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 薄膜は多様な分野において重要な役割を演じているが,その特性はバルクの材料とは異なる場合がある。本研究においては,薄膜,特に皮膜に着目し,そのYoung率の測定を試み,インパルス励起技術の適用を図った。前段では,皮膜が形成された基材(積層構造)の音響振動と構成材料のYoung率に関する種々のモデルをレビューした。後段では,マグネトロンスパッタリングを用いて形成したアルミニウム被覆を有するステンレス鋼板についての音響振動試験を実施した。実験結果を基に,既存のモデルの比較を行なった。この調査から,Pautrotが提案したモデルが最も的確に薄膜のYoung率を推定できることを明らかにした。

シソーラス用語： *薄膜 ,  *Young率 ,  積層構造 ,  皮膜 ,  モデル ,  *音響振動 ,  推定

分類 (1件)： 弾性力学一般  (HC02010M)

タイトルに関連する用語 (4件)： インパルス ,  励起 ,  薄膜 ,  Young率