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J-GLOBAL ID：201702246707960826   整理番号：17A0191037

上下反転の平坦で均一な垂直配向CNTから作製された高異方性接着膜

Highly Anisotropic Adhesive Film Made from Upside-Down, Flat, and Uniform Vertically Aligned CNTs

著者 (12件)： HONG Sanghyun (Northeastern Univ., Boston Massachusetts, USA) ,  LUNDSTROM Troy (Northeastern Univ., Boston Massachusetts, USA) ,  GHOSH Ranajay (Northeastern Univ., Boston Massachusetts, USA) ,  GHOSH Ranajay (Univ. Central Florida, Florida, USA) ,  ABDI Hamed (Northeastern Univ., Boston Massachusetts, USA) ,  HAO Ji (Northeastern Univ., Boston Massachusetts, USA) ,  JEOUNG Sun Kyoung (Korea Automotive Technol. Inst., Cheonan-Si, KOR) ,  SU Paul (FM Global, Massachusetts, USA) ,  SUHR Jonghwan (Sungkyunkwan Univ., Suwon, KOR) ,  VAZIRI Ashkan (Northeastern Univ., Boston Massachusetts, USA) ,  JALILI Nader (Northeastern Univ., Boston Massachusetts, USA) ,  JUNG Yung Joon (Northeastern Univ., Boston Massachusetts, USA)
資料名： ACS Applied Materials & Interfaces  (ACS Applied Materials & Interfaces)
巻： 8  号： 49  ページ： 34061-34067  発行年： 2016年12月14日 
JST資料番号： W2329A  ISSN： 1944-8244  CODEN： AAMICK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 多機能な接着膜を作製するために,垂直配向させたカーボンナノチューブ(VA-CNT)の利用について検討した。原子的に平坦なシリコンウェハ基板上に垂直配向CNTを成長させた。VA-CNTの平坦で均一な底部を接着層上面に転写した。転写された接着膜の異方性が高く,非常に小さい荷重下でも,非常に高い静止摩擦係数を示した。また,剪断接着力は,転写前のVA-CNTに比べて30倍高くなった。また,製造条件によっては零に近い接着力も観察された。この独特な構造的特徴と異方性接着特性を利用することで,平坦で均一な垂直配向CNTから,ナノ構造などの微細構造を効果的に形成できることが分かった。円状および線状のパターンを効果的に除去および組み立てる方法に利用できる。

シソーラス用語： 異方性 ,  *カーボンナノチューブ ,  分子配向 ,  平坦性 ,  均一性 ,  *接着 ,  酸化物 ,  ウエハ【IC】 ,  ケイ素 ,  摩擦係数 ,  付着力 ,  *単分子層
準シソーラス用語： シリコンウエハ ,  *酸化物薄膜 ,  垂直配向 ,  静止摩擦係数

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  原子・分子のクラスタ  (BH09030O)

タイトルに関連する用語 (7件)： 反転 ,  平坦 ,  垂直配向 ,  CNT ,  作製 ,  異方性 ,  接着膜