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J-GLOBAL ID：201702247931842574   整理番号：17A0518449

GaInP CuPt_B型秩序に及ぼすSb界面活性剤の影響: 暗視野TEMおよび収差補正HAADFイメージングによる評価

The effect of Sb-surfactant on GaInP CuPt_B type ordering: assessment through dark field TEM and aberration corrected HAADF imaging

著者 (9件)： Coll C. (LENS-MIND, Departament d’Enginyeries: Electronica, Institut de Nanociencia i Nanotecnologia (IN2UB), Universitat de Barcelona, c/Marti i Franques 1, Barcelona, 08028, Spain. [e-mail]) ,  Barrigon E. ,  Lopez-Conesa L. ,  Rebled J. ,  Barrutia L. ,  Rey-Stolle I. ,  Estrade S. ,  Algora C. ,  Peiro F.
資料名： Physical Chemistry Chemical Physics  (Physical Chemistry Chemical Physics)
巻： 19  号： 15  ページ： 9806-9810  発行年： 2017年 
JST資料番号： A0271C  ISSN： 1463-9076  CODEN： PPCPFQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 有機金属気相成長法(MOVPE)を用いて成長させたGaInP層の微細構造に及ぼすSbの効果について述べた。これらの層は,基板(最も近い[111]軸に対して6°の配向不整を持つGe(001)基板)の意図的な配向不整のために,CuPt_B単一バリアント秩序を示す。GaInP成長中の界面活性剤としてのSbを使用しても,秩序型を変えることはないが,秩序パラメータ(η)はSbフラックスの増加と共に減少することが分かった。暗視野顕微鏡法によりSb量による逆位相境界(APB)の角度の変化がわかった。秩序領域の重ね合わせによるAPBのZコントラスト損失を明らかにする高角度環状暗視野(HAADF)実験および画像シミュレーションにより微細構造を評価した。Copyright 2017 Royal Society of Chemistry All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST

シソーラス用語： *インジウム化合物 ,  *ガリウム化合物 ,  *リン化物 ,  *界面活性剤 ,  *アンチモン ,  ウエハ【IC】 ,  結晶面 ,  *MOCVD ,  光学顕微鏡法 ,  透過型走査電子顕微鏡 ,  計算機シミュレーション ,  *微細構造 ,  HAADF-STEM ,  *リン化ガリウムインジウム ,  暗視野顕微鏡 ,  計算機利用 ,  利用
準シソーラス用語： *GaInP ,  Ge基板 ,  *有機金属気相成長法 ,  暗視野顕微鏡法 ,  画像シミュレーション

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (8件)： GaInP ,  Sb ,  界面活性剤 ,  暗視野 ,  TEM ,  収差補正 ,  イメージング ,  評価