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J-GLOBAL ID：201702248071059638   整理番号：17A0544826

ウルツ鉱型/閃亜鉛鉱型ZnO超構造を有する室温スパッタ蒸着無触媒ナノワイヤと高分子及び紙基板上の電気機械式ナノ発電機における応用

Room temperature sputter deposited catalyst-free nanowires with wurtzite/zinc blende ZnO superstructure and their application in electromechanical nanogenerators on polymer and paper substrates

著者 (8件)： BORYSIEWICZ M A (Inst. of Electron Technol., Warsaw, POL) ,  GRYGLAS-BORYSIEWICZ M (Univ. Warsaw, Warsaw, POL) ,  MASLYK M (Inst. of Electron Technol., Warsaw, POL) ,  WOJCIECHOWSKI T (Inst. of Physics, Polish Acad. of Sci., Warsaw, POL) ,  WZOREK M (Inst. of Electron Technol., Warsaw, POL) ,  KACZMARSKI J (Inst. of Electron Technol., Warsaw, POL) ,  WOJTOWICZ T (Inst. of Physics, Polish Acad. of Sci., Warsaw, POL) ,  KAMINSKA E (Inst. of Electron Technol., Warsaw, POL)
資料名： Nanotechnology  (Nanotechnology)
巻： 28  号： 8  ページ： 085204,1-8  発行年： 2017年02月24日 
JST資料番号： W0108A  ISSN： 0957-4484  CODEN： NNOTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 反応性マグネトロンスパッタリングを室温で用いて,高い規則度を有するZnOナノワイヤを無触媒で成長させた。Arと酸素の比を10:2に保って流量を変えることで,膜の形態や微細構造を制御でき,特に,整列したZnOナノワイヤを成長させることができた。プロセス条件を変えて,閃亜鉛鉱型量子井戸を含む主にウルツ鉱型構造のZnOナノワイヤを合成した。このZnOナノ構造は生化学センサやガスセンサ,色素増感太陽電池,超コンデンサ,エネルギー収穫機,などへ工業規模で応用できる。ZnOナノワイヤを紙及びPET基板上に堆積させ,垂直ナノワイヤアレイ集積ナノ発電機を作製し,機械的パルス印加時のμV領域の電圧発生効果を観測した。

シソーラス用語： *ナノワイヤ ,  マグネトロンスパッタリング ,  *酸化亜鉛 ,  半導体材料 ,  結晶成長 ,  アルゴン ,  酸素 ,  閃亜鉛鉱型結晶 ,  微細構造 ,  ウルツ鉱型結晶 ,  薄膜成長 ,  *発電機 ,  積層欠陥 ,  電子技術
準シソーラス用語： *ナノ発電機 ,  ペーパエレクトロニクス ,  反応性マグネトロンスパッタリング

分類 (1件)： 酸化物の結晶成長  (BK13050I)

タイトルに関連する用語 (12件)： ウルツ鉱 ,  閃亜鉛鉱 ,  ZnO ,  室温 ,  スパッタ蒸着 ,  触媒 ,  ナノワイヤ ,  高分子 ,  紙 ,  電気機械 ,  ナノ発電機 ,  応用