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J-GLOBAL ID：201702248183419993   整理番号：17A0207681

ミクロスフェア調製プロセスの最適化【JST・京大機械翻訳】

Optimization of preparation technology of micro-spherical probes

著者 (4件)： Xu Bin (School of Manufacturing Science and Engineering,Sichuan University) ,  Tang Hairong (School of Manufacturing Science and Engineering,Sichuan University) ,  Zhao Shiping (School of Manufacturing Science and Engineering,Sichuan University) ,  Yang Hong (Institute of Mechanical Manufacturing Technology,China Academy of Engineering Physics)
資料名： Chuanganqi yu Weixitong  (Chuanganqi yu Weixitong)
巻： 35  号： 8  ページ： 77-79  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2884A  ISSN： 2096-2436  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 既存のレーザー微小球プローブの加工技術に存在するプローブ先端の微小球の中心が針棒の中の軸の偏差から離れている問題を解決するために、二段階の加工策略を提案した。CO_2レーザビームを熱源として,針先端を加熱することにより,針先端を熱融化によりミクロスフェアを発生させた。次に,微小球を持つプローブを,軸方向に180°回転させ,次に,CO_2レーザビームを用いて,ミクロスフェアを持つプローブ先端を照射し,そして,先端のオフセットを補償した。実験結果は以下を示す。「液-回転再構成法」の二段階加工戦略を採用することにより、探針先端の微小球が針棒の湾曲程度を明らかに低下させ、プローブ先端の球状中心と針状中心線のオフセット距離を縮小することができる。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： レーザビーム ,  再構成 ,  レーザ ,  熱源 ,  プローブ ,  軸方向 ,  *ミクロスフェア ,  オフセット ,  *最適化
準シソーラス用語： 針状 ,  湾曲 ,  加工技術 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： CO_2 laser ,  micro probe ,  microsphere tip ,  center offset

分類 (1件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (4件)： ミクロスフェア ,  調製 ,  プロセス ,  最適化