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J-GLOBAL ID:201702249184405843   整理番号:17A0205823

シリコン窒化物の直接窒化反応の熱力学的解析と動力学的機構の研究【JST・京大機械翻訳】

Thermodynamic analysis and kinetics mechanism for direct nitridation reaction
著者 (5件):
資料名:
巻:号:ページ: 14-21  発行年: 2016年 
JST資料番号: C3154A  ISSN: 1674-9669  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)
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TG-DSC熱重量分析を用いて,種々の加熱速度での熱分解機構と化学反応速度論を研究した。温度が1000~1300°Cのときに,以下のことが分かった。示差走査熱量測定曲線には,吸熱性と一つのピークがあり,窒化機構が変化することを示した。1000~1100°Cの温度範囲において,窒化ケイ素の変換率は著しく増加し,すなわち,温度は,変換率に影響する主要因であった。実験結果を示した。窒化反応の律速段階は反応開始段階の界面化学反応制御とその後の界面化学反応と内部拡散混合制御からなる。見かけの活性化エネルギーE=404.5KJ/MOL,周波数因子A=9.57×10(15)M/S,反応次数N=0.95,反応速度方程式の数学式を得た。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】
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ネマチック相 
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