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J-GLOBAL ID：201702250518156432   整理番号：17A0400031

低エネルギーHeプラズマに曝露したタングステン酸化物薄膜:浸食収率の熱的強化のための証拠【Powered by NICT】

Tungsten oxide thin film exposed to low energy He plasma: Evidence for a thermal enhancement of the erosion yield

著者 (10件)： Hijazi H. (Aix-Marseille Universite, CNRS, PIIM UMR 7345, F-13397 Marseille, France) ,  Addab Y. (Aix-Marseille Universite, CNRS, PIIM UMR 7345, F-13397 Marseille, France) ,  Maan A. (University of Tennessee-Knoxville, 1004 Estabrook Road, Knoxville, TN, 37996-2300, USA) ,  Duran J. (University of Tennessee-Knoxville, 1004 Estabrook Road, Knoxville, TN, 37996-2300, USA) ,  Donovan D. (University of Tennessee-Knoxville, 1004 Estabrook Road, Knoxville, TN, 37996-2300, USA) ,  Pardanaud C. (Aix-Marseille Universite, CNRS, PIIM UMR 7345, F-13397 Marseille, France) ,  Ibrahim M. (Aix-Marseille Universite, CNRS, PIIM UMR 7345, F-13397 Marseille, France) ,  Cabie M. (Aix-Marseille Universite, CP2M, F-13397 Marseille, France) ,  Roubin P. (Aix-Marseille Universite, CNRS, PIIM UMR 7345, F-13397 Marseille, France) ,  Martin C. (Aix-Marseille Universite, CNRS, PIIM UMR 7345, F-13397 Marseille, France)
資料名： Journal of Nuclear Materials  (Journal of Nuclear Materials)
巻： 484  ページ： 91-97  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0148A  ISSN： 0022-3115  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： タングステン基板の熱酸化により作製したナノ結晶酸化タングステン薄膜(厚さ約75nm)は二温度で2.5×10~18m~ 2s~ 1のフラックスとの低エネルギーHeプラズマ(≒20 eV/He)に曝露した:室温及び673KHe衝撃及びアニーリング処理後に発生する構造と形態修飾をRaman分光法と透過型電子顕微鏡を用いて調べた。低フルエンス(4 × 10~21 m~ 2)と低イオンエネルギーのために,室温でHeプラズマ照射後,ごく少数の形態改質を観測した。これに反して,673Kで,層色の変化は重要な侵食に関連する観察された。曝露前/後と焼なまし前後の詳細な分析は,原子とマイクロメータスケールで酸化物層,その侵食および構造的修飾を有するHe相互作用を記述することができた。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 衝撃 ,  *プラズマ ,  *浸食 ,  焼なまし ,  *タングステン ,  Raman分光法 ,  *酸化タングステン ,  プラズマ曝露 ,  熱酸化 ,  *ヘリウム ,  透過型電子顕微鏡 ,  *薄膜 ,  変色
準シソーラス用語： イオンエネルギー ,  *低エネルギー , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： タングステン酸化物薄膜 ,  Heプラズマ衝撃 ,  侵食 ,  プラズマ壁相互作用 ,  Raman分光法 ,  透過型電子顕微鏡観察

分類 (2件)： 核融合装置  (BJ02083Z) ,  金属の放射線による構造と物性の変化  (BK16122N)

タイトルに関連する用語 (10件)： 低エネルギー ,  He ,  プラズマ ,  曝露 ,  タングステン ,  酸化物薄膜 ,  浸食 ,  収率 ,  強化 ,  証拠