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J-GLOBAL ID：201702253378322917   整理番号：17A0314095

ミクロサイズ金属膜橋の温度測定と多重物理場のシミュレーション【Powered by NICT】

Temperature measurements and multi-physical field simulations of micro-sized metal film bridge

著者 (5件)： Bao Bingliang (State Key Laboratory of Explosion Science and Technology, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081, China) ,  Yan Nan (State Key Laboratory of Explosion Science and Technology, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081, China) ,  Jiang Yi (School of Optoelectronics, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081, China) ,  Wang Gang (State Key Laboratory of Explosion Science and Technology, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081, China) ,  Ding Wenhui (School of Optoelectronics, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081, China)
資料名： Applied Thermal Engineering  (Applied Thermal Engineering)
巻： 104  ページ： 121-128  発行年： 2016年07月05日 
JST資料番号： E0667B  ISSN： 1359-4311  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 定電流励起下で微小サイズ金属膜ブリッジの温度を測定するために,Fabry-Perot干渉技術により,新しい光ファイバセンサは,高温測定と迅速な温度応答のために設計した。整合スペクトル復調システムは独立に設計・製作し,5kHzまでの応答周波数,室温と1500Kの間の広い測定範囲,とセンサ空間分解能125μmのような利点を含んでいた。比較のために,異なる電流励起値下での温度分布は,多重物理場シミュレーションにより得られた。実験値とシミュレーション結果は最大偏差7.6%の,結果の信頼性と信頼性を示した。さらに,臨界着火電流は182mAとして評価し,スチフニン酸鉛を充填したミクロサイズ金属膜ブリッジした。自己設計光ファイバFabry-Perotセンサは着火安全性と信頼性のための有効な手法を提供し,ミクロゾーンの正確な温度測定に用いた。さらに,微小電気機械システムにおける加熱素子の電熱変換効率を評価するために非常に重要である。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 熱応答 ,  *温度測定 ,  センサ ,  信頼性 ,  MEMS ,  空間分解能 ,  光ファイバセンサ ,  臨界 ,  復調 ,  電流 ,  発熱体 ,  温度分布 ,  *金属薄膜 ,  光ファイバ
準シソーラス用語： 変換効率 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 温度測定 ,  マイクロ帯 ,  光ファイバセンサ ,  Fabry-Perot干渉 ,  ミクロサイズ金属膜橋 ,  多重物理場シミュレーション

分類 (1件)： 熱交換器,冷却器  (PA03020G)

タイトルに関連する用語 (6件)： サイズ ,  金属膜 ,  温度測定 ,  多重 ,  物理 ,  シミュレーション