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J-GLOBAL ID：201702253791712508   整理番号：17A0048382

メタンガス・センサーとしてのチタン酸化物薄膜

Titanium Dioxide Thin Films as Methane Gas Sensors

著者 (5件)： Comert Buse (Photonics Application and Research Center, Gazi University, Ankara, Turkey) ,  Akin Nihan (Photonics Application and Research Center, Gazi University, Ankara, Turkey) ,  Donmez Meltem (Photonics Application and Research Center, Gazi University, Ankara, Turkey) ,  Saglam Semran (Photonics Application and Research Center, Gazi University, Ankara, Turkey) ,  Ozcelik Suleyman (Photonics Application and Research Center, Gazi University, Ankara, Turkey)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 16  号： 24  ページ： 8890-8896  発行年： 2016年 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： TiO₂薄膜を,スパッタリング法を使ってn-Si基板上に100°Cで堆積させ,大気中で500°C-1000°Cの範囲でアニールした。全部の膜の構造とモフォロジー特性を,X線回折と原子間力顕微鏡により調べた。堆積したままとアニールしたTiO₂薄膜を活性材料として使って,白金インターデジタル電極付きのガスセンサーをフォトリソグラフィー手法で作製した。色々な動作温度における種々のメタンガス濃度の下でセンサー材料の導電性を変えることにより,センサーの感度を測定した。堆積したままのTiO₂薄膜を使って作製した粒径10nmのセンサーが,高い感度と速い応答/回復時間を持つことを見出した。50°Cで動作するセンサーもメタンガスに敏感で,その検出性能は温度とともに増大した。作製したセンサーは,再現性のある安定した結果を示すことが観察された。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST

シソーラス用語： *酸化チタン ,  *ガスセンサ ,  薄膜 ,  *スパッタリング ,  *焼なまし ,  ウエハ【IC】 ,  N型半導体 ,  *薄膜成長 ,  膜構造 ,  モルフォロジー ,  X線回折 ,  原子間力顕微鏡 ,  顕微鏡観察 ,  白金電極 ,  *フォトリソグラフィー ,  *感度解析 ,  高感度 ,  応答時間 ,  温度依存性 ,  再現性 ,  安定性 ,  アルカン
準シソーラス用語： ケイ素基板 ,  櫛形電極 ,  回復時間

分類 (3件)： 分析機器  (CC02020S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  酸化物の結晶成長  (BK13050I)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (4件)： メタンガス ,  センサー ,  チタン ,  酸化物薄膜