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J-GLOBAL ID：201702256759262311   整理番号：17A0685694

圧電性ナノ結晶膜を装飾したグラフェンエアロゲルに基づく超軽量な圧力センサ

Ultra-lightweight pressure sensor based on graphene aerogel decorated with piezoelectric nanocrystalline films

著者 (10件)： DRAGOMAN Mircea (National Res. and Dev. Inst. in Microtechnology, Bucharest, ROM) ,  GHIMPU Lidia (Inst. of Electronic Engineering and Nanotechnologies, Acad. of Sci. of Moldova, Chisinau, MDA) ,  OBREJA Cosmin (National Res. and Dev. Inst. in Microtechnology, Bucharest, ROM) ,  DINESCU Adrian (National Res. and Dev. Inst. in Microtechnology, Bucharest, ROM) ,  PLESCO Irina (Technical Univ. Moldova, Chisinau, MDA) ,  DRAGOMAN Daniela (Univ. Bucharest, Bucharest, ROM) ,  DRAGOMAN Daniela (Acad. of Romanian Scientists, Bucharest, ROM) ,  BRANISTE Tudor (Technical Univ. Moldova, Chisinau, MDA) ,  TIGINYANU Ion (Inst. of Electronic Engineering and Nanotechnologies, Acad. of Sci. of Moldova, Chisinau, MDA) ,  TIGINYANU Ion (Technical Univ. Moldova, Chisinau, MDA)
資料名： Nanotechnology  (Nanotechnology)
巻： 27  号： 47  ページ： 475203,1-6  発行年： 2016年11月25日 
JST資料番号： W0108A  ISSN： 0957-4484  CODEN： NNOTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： SnO₂あるいはGaN薄膜をマグネトロンスパッタリングにより蒸着した官能化グラフェンエアロゲルを使って圧力センサを作製した。エアロゲルは高度に圧縮性であり,凝集したナノ粒子から形成したSnO₂あるいはGaN薄膜は圧電性であるため,それらを組合せた系は良好な圧力センサになると期待される。得られたセンサの応答性と,1-5気圧の圧力検出範囲はグラフェン膜に基づいた圧力センサのものよりも高いことを示した。SnO₂あるいはGaNのいずれの圧力センサも重量は500μgであり,フレキシブル,超軽量,そして良好な応答性を見せた。

シソーラス用語： *エアロゲル ,  *圧力センサ ,  ナノ結晶 ,  圧電体 ,  *グラフェン ,  *窒化ガリウム ,  *酸化スズ ,  応答特性 ,  官能化 ,  マグネトロンスパッタリング ,  応答
準シソーラス用語： 圧電応答 ,  圧力検出 ,  応答性

分類 (1件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 圧電性 ,  ナノ結晶 ,  装飾 ,  軽量 ,  圧力センサ