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J-GLOBAL ID：201702256882244741   整理番号：17A0755596

容量性MEMS加速度計感度特性化のための電気刺激だけBIST IC【Powered by NICT】

An Electrical-Stimulus-Only BIST IC for Capacitive MEMS Accelerometer Sensitivity Characterization

著者 (6件)： Ozel Muhlis Kenan (School of Electrical, Computer and Energy Engineering, Arizona State University, Tempe, AZ, USA) ,  Cheperak Mike (NXP Semiconductors, Tempe, AZ, USA) ,  Dar Tehmoor (NXP Semiconductors, Tempe, AZ, USA) ,  Kiaei Sayfe (School of Electrical, Computer and Energy Engineering, Arizona State University, Tempe, AZ, USA) ,  Bakkaloglu Bertan (School of Electrical, Computer and Energy Engineering, Arizona State University, Tempe, AZ, USA) ,  Ozev Sule (School of Electrical, Computer and Energy Engineering, Arizona State University, Tempe, AZ, USA)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 17  号： 3  ページ： 695-708  発行年： 2017年 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 試験とキャリブレーションは,マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)デバイスの全体の製造コストの大部分を構成している。容量性MEMS加速度計の感度を特性化する物理的刺激遊離ビルトインセルフテスト(BIST)集積回路(IC)設計を提示した。BIST回路は物理的刺激下での機械的感受性に関する誤差の0.55%以内で電気的励起下での加速度センサの力学の振幅と位相応答を抽出することができる。感度特性は,低い計算複雑性多変量線形回帰モデルを用いて行った。BIST回路は,既存のアナログおよび混合信号読出し信号鎖とホストプロセッサコアの使用を最大化し,計算的に高価な高速Fourier変換(FFT)に基づくアプローチを必要としない。BIST ICを0.18μm CMOS技術を用いて設計し,作製した。センサアナログフロントエンドとBIST回路は単一ハーメチックシールパッケージにおける三軸低g容量性MEMS加速度計と統合した。BIST回路は1mm~2の全読出しIC面積で0.3mm~2を占め,自己試験操作の期間に8.9mWを消費する。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *電気刺激 ,  アナログ系 ,  *MEMS ,  *BIST ,  感受性 ,  *加速度計 ,  計算量 ,  製造原価 ,  励起 ,  *キャラクタリゼーション ,  機械刺激 ,  高速Fourier変換
準シソーラス用語： 読出し ,  混合信号 ,  加速度センサ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (7件)： 容量性 ,  MEMS ,  加速度計 ,  感度特性 ,  電気刺激 ,  BIST ,  IC