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J-GLOBAL ID：201702257111202412   整理番号：17A0444127

アニールした原子層堆積したアルミナの摩耗挙動【Powered by NICT】

Wear behavior of annealed atomic layer deposited alumina

著者 (4件)： Hsain Zakaria (Department of Mechanical Engineering and Mechanics, Lehigh University, Bethlehem, PA 18015, United States) ,  Zeng Guosong (Department of Mechanical Engineering and Mechanics, Lehigh University, Bethlehem, PA 18015, United States) ,  Strandwitz Nicholas C. (Department of Materials Science and Engineering, Lehigh University, Bethlehem, PA 18015, United States) ,  Krick Brandon A. (Department of Mechanical Engineering and Mechanics, Lehigh University, Bethlehem, PA 18015, United States)
資料名： Wear  (Wear)
巻： 372-373  ページ： 139-144  発行年： 2017年 
JST資料番号： E0377A  ISSN： 0043-1648  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子層堆積(A LD)アルミナは,MEMSや他の応用における耐摩耗性と保護被覆として使用するための有望な候補である。A LDアルミナのトライボロジー特性を,処理,環境および運転条件に関連する多くの因子により影響を受ける可能性があるが,その摩耗挙動を定量化も良く理解されていなかった。本研究では,A LDアルミナを種々の温度でアニールした,湿った空気環境で摺動摩耗試験に供した。トライボロジー的性質はアニーリング温度により強く影響されるように見えた。驚いたことに,摩耗率は,1時間の1000°Cでのアニーリング後に約二桁減少した。耐摩耗性のこの改善は,アニーリング温度が上昇すると結晶相の形成によって影響されることが示された。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 耐摩耗性 ,  湿り空気 ,  摩耗率 ,  被覆 ,  滑り摩耗 ,  焼なまし ,  トライボロジー ,  MEMS ,  *アルミナ
準シソーラス用語： 結晶相 ,  アニーリング温度 ,  運転条件 ,  トライボロジー特性 ,  *摩耗挙動 ,  *ALCVD , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： アルミナ ,  原子層堆積 ,  A LD ,  滑り摩耗 ,  アニーリング

分類 (2件)： 潤滑一般  (QB02010S) ,  金属の機械的性質  (BL01022T)

タイトルに関連する用語 (4件)： アニール ,  原子層堆積 ,  アルミナ ,  摩耗挙動