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J-GLOBAL ID：201702257224237529   整理番号：17A0077633

MEMSプロセスに基づくフレキシブル電極の調製と試験【JST・京大機械翻訳】

Test and Fabrication of Flexible Stretchable Electrode Based on MEMS Fabrication Process

著者 (5件)： Cui Jianli (North University of China,National Key Laboratory for Electronic Measurement Technology,Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement of Ministry of Education) ,  Li Ce (North University of China,National Key Laboratory for Electronic Measurement Technology,Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement of Ministry of Education) ,  Guo Hao (North University of China,National Key Laboratory for Electronic Measurement Technology,Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement of Ministry of Education) ,  Chen Yanxiang (North University of China,National Key Laboratory for Electronic Measurement Technology,Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement of Ministry of Education) ,  Shi Yunbo (North University of China,National Key Laboratory for Electronic Measurement Technology,Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement of Ministry of Education)
資料名： Yibiao Jishu yu Chuanganqi  (Yibiao Jishu yu Chuanganqi)
号： 6  ページ： 21-24  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2449A  ISSN： 1002-1841  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 柔軟性技術のための延伸可能な電極の必要条件を満たすために,周期的8ΜMの三角波構造を有するAG薄膜電極を,ポリジメチルシロキサン(PDMS)フレキシブル基板上に作製した。MEMS技術により柔軟な電極テンプレートを作製し,PDMSの表面上の表面を修飾し,マグネトロンスパッタリングにより金属AGを調製する方法により,可撓性の電極を作製した。柔軟性電極の初期抵抗値,抵抗値と柔軟性の間の関係性と柔軟性電極の引張限界を測定することによって,試験結果は,この方法が,優れた接着性能,初期の抵抗値,低い再現性,電気抵抗率の65%に達することができることを示した。同時に,この方法で調製したフレキシブル電極のサイズ,周期などのパラメータは制御でき,応用分野は延伸され,異なる需要のフレキシブル電極の調製に適応できる。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 三角波 ,  柔軟性 ,  膜電極 ,  再現性 ,  延伸 ,  マグネトロンスパッタリング ,  電気抵抗率 ,  必要条件 ,  引張 ,  *MEMS
準シソーラス用語： 粘着性 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： MEMS ,  stretchable electrode ,  Polydimethylsiloxane (PDMS)

分類 (4件)： 半導体の表面構造  (BK15030A) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  発光素子  (NC03082G) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z)

タイトルに関連する用語 (5件)： MEMS ,  プロセス ,  フレキシブル電極 ,  調製 ,  試験