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J-GLOBAL ID：201702257262671792   整理番号：17A0381604

温度安定高周波MEMS振動子に対するモード共振器の分散Lame【Powered by NICT】

Distributed Lame ́ mode resonators for temperature-stable high frequency mems oscillators

著者 (4件)： Daruwalla Anosh (Georgia Institute of Technology, Atlanta, USA) ,  Liu Chang-Shun (Georgia Institute of Technology, Atlanta, USA) ,  Wen Haoran (Georgia Institute of Technology, Atlanta, USA) ,  Ayazi Farrokh (Georgia Institute of Technology, Atlanta, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MEMS  ページ： 909-912  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高温転換点と周波数(TCF)プロファイルの二次温度係数を有する高周波シリコン共振器設計を提示した。設計は正方形Lame’モードの利点を使って,分散配置,周波数をスケールアップしつつ,効率的形質導入を可能にするためにそれを拡張した。77Kの160MHzとQを越える周波数を用いた分散型Lameモード共振器(DLR)は3.5の運動インピーダンスで測定したシリコン共振器のための最も高いF Qsの一つを示している。100°C以上の高温転換点は,商業的に利用可能な高度ドープした基板上に作製したDLR,寸法制約のために簡単な角型Lameモード共振器を用いて効率的に実現できない恒温高周波シリコン振動子を可能にするで達成された。この方法を用いて,水晶発振器に匹敵する高い周波数,は非常に高い周波数(VHF)軍用(ナビゲーション,レーダ,GPS)と消費者アプリケーション(携帯電話)に適した,温度安定シリコン振動子を達成することが可能である。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *共振器 ,  水晶発振器 ,  ケイ素 ,  *HF【周波数】 ,  インピーダンス ,  高温 ,  レーダ ,  *MEMS ,  携帯電話 ,  ドーピング ,  周波数 ,  *振動子 ,  制約条件 ,  温度係数 ,  GPS
準シソーラス用語： GPS【位置決め】 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (3件)： MEMS ,  振動子 ,  共振器