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J-GLOBAL ID：201702262034873918   整理番号：17A0381378

大ダイナミックレンジを持つ(100)シリコンにおける0.5mm~XXVII MHz容量性バルク音響波ジャイロスコープ【Powered by NICT】

A 0.5 mm² 7-mhz capacitive bulk acoustic wave gyroscope in (100) silicon with large dynamic range

著者 (6件)： Rahafrooz Amir (Qualtre ́ Inc., Marlborough, MA, USA) ,  Serrano Diego E. (Qualtre ́ Inc., Marlborough, MA, USA) ,  Younkin Duane (Qualtre ́ Inc., Marlborough, MA, USA) ,  Nagpal Shin (Qualtre ́ Inc., Marlborough, MA, USA) ,  Jafri Ijaz (Qualtre ́ Inc., Marlborough, MA, USA) ,  Ayazi Farrokh (Qualtre ́ Inc., Marlborough, MA, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MEMS  ページ： 25-28  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,著者らの知る限りで,現在まで報告されている最小MEMSジャイロスコープを提示した。わずか0.5mm~2のフットプリントを用いて,デバイスを環境擾乱に対してロバスト性能を有する高周波バルク音響波(BAW)ディスク共振器(408μm直径),及び6,000°/s以上の大きなダイナミックレンジの構成されている。デバイスはHARPS Sプロセスによって提供されたナノ伝達容量性ギャップ,他の仕様を犠牲にすることなく,非常に小さいフットプリントを可能にすることを利用し,感度と雑音である。さらに,本質的に硬い構造のために,提示したBAWジャイロは衝撃と振動[1]に対して著しく低下した感度を示した。デバイスは1°/hの測定アングルランダムウォーク(ARW)と15°/hのバイアス不安定性,界面エレクトロニクスの熱およびフリッカ雑音によって支配されているを示した。ジャイロ素子自身が5 10x低いノイズレベルに達することができた。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 衝撃 ,  電子技術 ,  円板 ,  *ダイナミックレンジ ,  バイアス ,  1/f雑音 ,  共振器 ,  *ジャイロスコープ ,  雑音指数 ,  雑音 ,  界面 ,  HF【周波数】 ,  フットプリント ,  MEMSジャイロスコープ ,  *バルク音響波

分類 (9件)： AD・DA変換回路  (NC05080M) ,  分析機器  (CC02020S) ,  光電デバイス一般  (NC03081P) ,  X線回折法  (BK01020I) ,  分光法と分光計一般  (BD07041Q) ,  放射線検出・検出器  (AD08020J) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  計測機器一般  (AD02000X) ,  半導体の放射線による構造と物性の変化  (BK16123E)

タイトルに関連する用語 (5件)： ダイナミックレンジ ,  シリコン ,  容量性 ,  バルク音響波 ,  ジャイロスコープ