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J-GLOBAL ID:201702262266219053   整理番号:17A0062239

シンクロトロン放射X線光の位置と大きさを線走査検出器により測定した。【JST・京大機械翻訳】

The Size and Position of the X - Ray Beam Line Measured by Wire Scanning Detector at SSRF
著者 (3件):
資料名:
巻: 36  号:ページ: 274-278  発行年: 2016年 
JST資料番号: C2038A  ISSN: 0258-0934  CODEN: HDYUEC  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)
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線走査検出器はシンクロトロン放射ビームのビーム位置とスポットサイズの測定に用いられ、本論文では、この検出器の構造と設計における注意事項を簡単に紹介し、同時に異なるデータ処理方法が検出器の測定結果に与える影響を示した。この方法は,異なる要求を持つワイヤ走査検出器を設計することができ,その測定精度は10ΜMに達することができる。本論文では、上海スキャン光源の応用について紹介し、この種類の検出器の上海光源ビームラインにおける使用状況を紹介し、設計した線走査検出器はすべて各ビームの測定点の測定要求を満たした。さらに,これらの検出器の研究の内容とその役割を提案した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】
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著者キーワード (5件):
分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 
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