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J-GLOBAL ID：201702262415857410   整理番号：17A0348394

高電場励起効率の石英共振素子設計【JST・京大機械翻訳】

Design of Quartz Resonator With High Electric Field Excitation Efficiency

著者 (5件)： Lin Bingtao (26th Institute of China Electronics Technology Group Corporation, Solid Inertial Technology Enterprise Engineering Technology Research Center of Chongqing City, Solid Inertial Technology Engineering Laboratory of Chongqing City) ,  Lin Rile (26th Institute of China Electronics Technology Group Corporation, Solid Inertial Technology Enterprise Engineering Technology Research Center of Chongqing City, Solid Inertial Technology Engineering Laboratory of Chongqing City) ,  Lin Chaoying (Chongqing Communication Institute) ,  Zhao Jianhua (26th Institute of China Electronics Technology Group Corporation, Solid Inertial Technology Enterprise Engineering Technology Research Center of Chongqing City, Solid Inertial Technology Engineering Laboratory of Chongqing City) ,  Li Wenyun (26th Institute of China Electronics Technology Group Corporation, Solid Inertial Technology Enterprise Engineering Technology Research Center of Chongqing City, Solid Inertial Technology Engineering Laboratory of Chongqing City)
資料名： Yadian yu Shengguang  (Yadian yu Shengguang)
巻： 38  号： 6  ページ： 840-842  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2465A  ISSN： 1004-2474  CODEN： YASHE7  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 二つの「W」断面形状を持つ石英音叉共振素子を設計し、ビーム表面の溝の両端に深凹槽を設置することにより、溝側壁のDou直性を有効に向上させ、さらに電界の励起効率を向上させた。シミュレーション結果は,「H」形断面の共振素子と比較して,二重「W」形断面の共振素子の圧電力が約58%向上することを示した。素子チップ技術を設計し,直径50CMのウエハ上に2種類の断面形状の共振素子を作製した。試験結果により,二重W形断面積の共振器のQ値(Q値)およびアドミタンスは,それぞれ,2および,NSから2および,NSに増加し,そして,動的インピーダンス値は,548KΩから417KΩに減少した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 断面積 ,  インピーダンス ,  *電場 ,  *石英 ,  共振器 ,  音叉 ,  *共振 ,  Q値 ,  凹形 ,  *励起 ,  圧電気
準シソーラス用語： アドミタンス ,  断面形状 ,  *素子設計 ,  *高電場 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： quartz ,  resonator ,  groove ,  electric field excitation efficiency ,  motional impedance ,  Qfactor

分類 (1件)： 共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (5件)： 高電場 ,  励起 ,  石英 ,  共振素子 ,  設計