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J-GLOBAL ID：201702262426907961   整理番号：17A0116267

3次元データに基づくA FMプローブの先端条件を評価するための新しい計量【Powered by NICT】

A new metric to assess the tip condition of AFM probes based on three-dimensional data

著者 (3件)： Alraziqi Zaynab Naif Rasheed (Cardiff School of Engineering, Cardiff University, United Kingdom) ,  Brousseau Emmanuel (Cardiff School of Engineering, Cardiff University, United Kingdom) ,  Borodich Feodor M. (Cardiff School of Engineering, Cardiff University, United Kingdom)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： ICSAE  ページ： 24-29  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子間力顕微鏡(A FM)は,ナノスケールでの寸法と材料特性を測定し,範囲ナノファブリケーション操作を実現するために広く使用されている技術である。これは達成可能な分解能を直接影響するA FMベース技術の効果的な実施を用いて先端の鈍さに決定的に依存する。本論文では,A FMプローブの先端鈍さを評価するために提案した新しい計量。その主な利点は,A FM装置の頭部からプローブを除去せずに三次元(3D)チップデータ,in situ得られるに依存している,ことである。,チップキャラクタライザを走査するプローブを用いることにより,チップ頂点の実形状に非常に正確な3Dデータを抽出することができる。このようなチップキャラクタライザは鋭いケイ素ピン様アスペリティのアレイからなる一般的な試験構造である。これらのデータに基づいて,先端を含む仮想円筒の体積に先端の体積の比を計算するために提案した。このようにして,測定された比に依存して,A FMチップの形状を評価することができる。製造元から受け取ったままのこの計量の利用は四種類の非軸対称チップで実証した。得られた結果は,種々の方法で評価したこれらチップの条件の評価と良く相関し,著者らが検討した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 軸対称性 ,  三次元 ,  アスペリティ ,  *プローブ ,  円筒 ,  原子間力顕微鏡 ,  分解能
準シソーラス用語： ナノファブリケーション ,  材料特性 ,  ナノスケール ,  *三次元データ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (5件)： 3次元データ ,  Fm ,  プローブ ,  評価 ,  計量