文献

J-GLOBAL ID：201702266204615657   整理番号：17A0697714

炭素および窒素共ドーピング自己集合MoS_2多層膜【Powered by NICT】

Carbon and nitrogen co-doping self-assembled MoS₂ multilayer films

著者 (8件)： Zhang Xiaoqin (State Key Laboratory of Solid Lubrication, Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Sciences, Lanzhou 730000, China) ,  Zhang Xiaoqin (School of Materials Science and Engineering, Lanzhou University of Technology, Lanzhou 730050, China) ,  Xu Jiao (State Key Laboratory of Solid Lubrication, Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Sciences, Lanzhou 730000, China) ,  Chai Liqiang (State Key Laboratory of Solid Lubrication, Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Sciences, Lanzhou 730000, China) ,  He Tengfei (State Key Laboratory of Solid Lubrication, Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Sciences, Lanzhou 730000, China) ,  He Tengfei (School of Materials Science and Engineering, Lanzhou University of Technology, Lanzhou 730050, China) ,  Yu Fucheng (School of Materials Science and Engineering, Lanzhou University of Technology, Lanzhou 730050, China) ,  Wang Peng (State Key Laboratory of Solid Lubrication, Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Sciences, Lanzhou 730000, China)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 406  ページ： 30-38  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Mo SC N複合膜は,アルゴンと窒素雰囲気中でのグラファイトとMoS_2ターゲットの反応性マグネトロンスパッタリングを用いて調製した。組成,蒸着膜の微細構造,機械的およびトライボロジー特性に及ぼす炭素/窒素共ドーピングと炭素濃度の影響を種々のキャラクタリゼーション法で調べた。結果は,堆積した膜がMoS_2ナノ結晶と非晶質炭素から構成されていると,窒素はMo-N及びC-N化学結合を形成することを示した。炭素濃度を増加すると,膜中のsp~2炭素画分の増加をもたらした。さらに,高分解能透過型電子顕微鏡は,ナノメートルスケールの周期性を有する自己組織化多層構造はMo SC N膜で形成されることを明らかにした。複合材料と自己組織化多層構造からの恩恵を受けて,最適化したパラメータで堆積したMo SC N膜の硬度は9.76GPaまでに達し,対応する摩擦実験は,この複合膜を,真空及び周囲空気条件の両方で低い摩擦係数および高い耐摩耗性を示すことを示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 微細構造 ,  グラファイト ,  *炭素 ,  複合膜 ,  *窒素 ,  摩擦係数 ,  化学結合 ,  蒸着膜 ,  *多層膜 ,  耐摩耗性 ,  多層構造 ,  ナノ結晶 ,  摩擦試験
準シソーラス用語： HRTEM ,  *共ドーピング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 複合膜 ,  自己組織化多層膜 ,  機械的性質 ,  トライボロジー特性

分類 (2件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 炭素 ,  窒素 ,  共ドーピング ,  自己集合 ,  多層膜