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J-GLOBAL ID：201702267672621246   整理番号：17A0444008

微細構造,Ti W Al N複合膜の機械的及びトライボロジー特性に及ぼすAl含有量の影響【Powered by NICT】

Influence of Al content on microstructure, mechanical and tribological properties of Ti-W-Al-N composite films

著者 (5件)： Yu Lihua (School of Materials Science and Engineering, Jiangsu University of Science and Technology, Mengxi Road 2, Zhenjiang, Jiangsu Province, 212003, China) ,  Chen Jian (School of Materials Science and Engineering, Jiangsu University of Science and Technology, Mengxi Road 2, Zhenjiang, Jiangsu Province, 212003, China) ,  Ju Hongbo (School of Materials Science and Engineering, Jiangsu University of Science and Technology, Mengxi Road 2, Zhenjiang, Jiangsu Province, 212003, China) ,  Dong Hongzhi (School of Materials Science and Engineering, Jiangsu University of Science and Technology, Mengxi Road 2, Zhenjiang, Jiangsu Province, 212003, China) ,  Zhao Hongjian (School of Materials Science and Engineering, Jiangsu University of Science and Technology, Mengxi Road 2, Zhenjiang, Jiangsu Province, 212003, China)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 137  ページ： 31-37  発行年： 2017年 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 種々のAl含有量(0at.%~12.4at.%)のTi W Al N膜を,反応性マグネトロンスパッタリングにより堆積した。組成,微細構造,Ti W Al N膜の機械的特性とトライボロジー特性をEDS,XRD,HRTEM,SEM,ナノ押込,ボールオンディスク摩擦計により調べた。Ti W Al膜は2.9~原子%Al以下Ti W Al N相,Ti_2N相とW_2N相から構成されていることが分かった。Ti_2N相は5.6at.%Alで消失し,h-AlN相はそれぞれ%Alで12.4で形成した。硬さは初め増加し,次にAl含量の増加と共に減少し,最高の硬度は8.7~原子%Alで35.7GPaであった。室温では,摩擦係数は連続的に増加し,一方,摩耗率は,最初に減少し,次いでAl量の増加と共に増加した。1.79×10~ 8mm~3N~ 1mm~ 1の最低の摩耗速度はat.%Al8.7で得られた。温度が室温から700°Cに増加すると,摩擦係数は初め増加し,次いで減少し,一方,摩耗率は徐々に増加した。膜のトライボロジー特性は試験温度に依存した試験温度は,硬度,膜のトライボ皮膜と摩耗メカニズムに影響したためであった。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： ナノインデンテーション ,  *複合膜 ,  摩耗率 ,  窒化アルミニウム ,  摩耗速度 ,  X線回折 ,  硬度 ,  *アルミニウム ,  *微細構造 ,  摩擦係数 ,  摩耗機構 ,  試験温度 ,  HRTEM ,  反応性マグネトロンスパッタリング ,  *トライボロジー特性

著者キーワード (4件)： 反応性マグネトロンスパッタリング ,  Microstructure ,  機械的性質 ,  トライボロジー特性

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (6件)： 微細構造 ,  Ti ,  Al ,  複合膜 ,  トライボロジー特性 ,  Al含有量