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J-GLOBAL ID:201702267966313791   整理番号:17A0135307

拡がる検査領域“近赤外線イメージング”高解像度,広ダイナミックレンジUSB3Vision対応InGaAs近赤外カメラ

著者 (3件):
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巻: 49  号:ページ: 21-24  発行年: 2017年02月01日 
JST資料番号: Z0577B  ISSN: 1346-1362  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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アイアールスペック社の高解像度,高ダイナミックレンジInGaAs近赤外カメラを紹介する。特長はN-Well型2次元アレイ構造のInGaAsPDアレイの開発,テーパ付き金バンプによる高密度接合技術採用により,高解像度・高ダイナミックレンジ・高信頼性を実現した。また,USB3 Visionに対応し,複数カメラを同一ハブ上に接続することで照明装置を含めたマルチスペクトラム撮像システムが容易に構築できる。効果的な適用分野としてマルチスペクトラム赤外イメージングによる水分検出により水と灯油の識別などがある。また,赤外顕微鏡像によるシリコンウエハのチップ接合装置やダイシング装置のアライメント機構,太陽電池の赤外発光パタンによる欠陥検査にも有効である。
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分類 (2件):
分類
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写真機とその付属品  ,  赤外・遠赤外領域の測光と光検出器 

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