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J-GLOBAL ID：201702269235404690   整理番号：17A0412388

すれすれ入射イオン支援電子ビーム蒸着による超疎水性表面を持つ人工全方向反射防止ITOナノロッド膜【Powered by NICT】

Engineered omnidirectional antireflection ITO nanorod films with super hydrophobic surface via glancing-angle ion-assisted electron-beam evaporation deposition

著者 (16件)： Nuchuay P. (School of Energy, Environment and Materials, King Mongkut’s University of Technology Thonburi, Bangkok 10140, Thailand) ,  Chaikeeree T. (School of Energy, Environment and Materials, King Mongkut’s University of Technology Thonburi, Bangkok 10140, Thailand) ,  Horprathum M. (National Electronics and Computer Technology Center, National Science and Technology Development Agency, Pathum Thani 12120, Thailand) ,  Mungkung N. (Department of Electrical Technology Education, Faculty of Industrial Education and Technology, King Mongkut’s University of Technology Thonburi, Bangkok 10140, Thailand) ,  Kasayapanand N. (School of Energy, Environment and Materials, King Mongkut’s University of Technology Thonburi, Bangkok 10140, Thailand) ,  Oros C. (Faculty of Liberal-arts, Rajamangala University of Technology Rattanakosin, Nakornpathom 73170, Thailand) ,  Limwichean S. (National Electronics and Computer Technology Center, National Science and Technology Development Agency, Pathum Thani 12120, Thailand) ,  Nuntawong N. (National Electronics and Computer Technology Center, National Science and Technology Development Agency, Pathum Thani 12120, Thailand) ,  Chananonnawathorn C. (National Electronics and Computer Technology Center, National Science and Technology Development Agency, Pathum Thani 12120, Thailand) ,  Patthanasettakul V. (National Electronics and Computer Technology Center, National Science and Technology Development Agency, Pathum Thani 12120, Thailand) ,  Muthitamongkol P. (National Metal and Materials Technology Center, National Science and Technology Development Agency, Pathum Thani 12120, Thailand) ,  Samransuksamer B. (Department of Physics, Faculty of Science, King Mongkut’s University of Technology Thonburi, Bangkok 10140, Thailand) ,  Denchitcharoen S. (Department of Physics, Faculty of Science, King Mongkut’s University of Technology Thonburi, Bangkok 10140, Thailand) ,  Klamchuen A. (National Nanotechnology Center, National Science and Technology Development Agency, Pathum Thani 12120, Thailand) ,  Thanachayanont C. (National Metal and Materials Technology Center, National Science and Technology Development Agency, Pathum Thani 12120, Thailand) ,  Eiamchai P. (National Electronics and Computer Technology Center, National Science and Technology Development Agency, Pathum Thani 12120, Thailand)
資料名： Current Applied Physics  (Current Applied Physics)
巻： 17  号： 2  ページ： 222-229  発行年： 2017年 
JST資料番号： W1579A  ISSN： 1567-1739  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： インジウムスズ酸化物(ITO)ナノロッド膜の成長は,堆積速度の変化に基づいて視射角蒸着法とイオン支援電子ビーム蒸着により実証した。研究は,裸の基板と比較してITO被覆市販基板上に堆積したナノ構造ITO膜について行った。物理的微細構造をすれすれ入射X線回折(GIXRD),電界放出走査電子顕微鏡(FE SEM),及び高分解能透過型電子顕微鏡(HR TEM)により調べた。電気的,光学的,及び疎水性特性は,四点プローブ測定,角度依存法を用いたUV-Vis-NIR分光光度法及び接触角測定で特性評価した。結果はITOナノロッド膜の物理的形態とナノロッド直径が大きく影響され,このようにして制御された堆積速度であることを示した。主な理由は膜堆積中に発生した自己アニーリング効果があり,表面拡散と膜の結晶性に対する重要な因子であった。光検査から,ITO被覆ガラス上に堆積したITOナノロッドを参照試料からの透明導電性酸化物(TCO)特性に大きな改善を示した。提案したITO材料は,全方向性反射防止材料と超疎水性表面として機能することができた。本研究では,GLAD法を用いた電子ビーム蒸着により作製したITOナノロッドであった太陽電池とオプトエレクトロニクス応用のための非常に有望であることを証明した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： ナノ構造 ,  *ナノロッド ,  堆積速度 ,  表面拡散 ,  *疎水性 ,  *電子ビーム蒸着 ,  太陽電池 ,  接触角 ,  結晶度 ,  オプトエレクトロニクス ,  キャラクタリゼーション ,  酸化スズ ,  *すれすれ入射
準シソーラス用語： HRTEM ,  *超疎水性 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： ITOナノロッド ,  視射角蒸着 ,  透明導電性酸化物 ,  全方向反射防止 ,  イオン支援電子ビーム蒸着

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (10件)： すれすれ入射 ,  イオン ,  支援 ,  電子ビーム蒸着 ,  超疎水性 ,  人工 ,  全方向 ,  反射防止 ,  ITO ,  ナノロッド