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J-GLOBAL ID:201702269351514744   整理番号:17A0544832

選択的に薄くした膜の制御された分解による固相ナノ孔局在化

Solid-state nanopore localization by controlled breakdown of selectively thinned membranes
著者 (4件):
資料名:
巻: 28  号:ページ: 085304,1-9  発行年: 2017年02月24日 
JST資料番号: W0108A  ISSN: 0957-4484  CODEN: NNOTER  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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Siチップで支持された30~100nm厚さのSiNx薄膜が,Heの収束イオンビームによって,選択的に薄い領域が生成され,それを電解質溶液中の電気分解による,制御された分解(CBD)によって,ナノ細孔が形成された。電場制御されたCBDは,膜厚さに強く依存し,ナノ細孔の形成位置が制御される。ナノ細孔が形成された位置は,TEMイメージングと二本鎖DNAのトランスロケーションによって同定された。本CBD法は,単分子検知への応用が期待される。
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分類 (2件):
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半導体薄膜  ,  電解装置 
タイトルに関連する用語 (4件):
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