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J-GLOBAL ID：201702278271287436   整理番号：17A0302140

MgO/CoFeBベーストップ磁気トンネル接合構造における垂直磁気異方性に及ぼすMoキャッピング層厚さの影響【Powered by NICT】

Effect of Mo capping layers thickness on the perpendicular magnetic anisotropy in MgO/CoFeB based top magnetic tunnel junction structure

著者 (6件)： Liu Yi (School of Physics and Nuclear Energy Engineering, Beihang University) ,  Zhu Kaigui (School of Physics and Nuclear Energy Engineering, Beihang University) ,  Zhong Huicai (Integrated Circuit Advanced Process Center, Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences) ,  Zhu Zhengyong (Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences) ,  Yu Tao (School of Physics and Nuclear Energy Engineering, Beihang University) ,  Ma Sude (School of Physics and Nuclear Energy Engineering, Beihang University)
資料名： Chinese Physics B  (Chinese Physics B)
巻： 25  号： 11  ページ： 117805_01-117805_05  発行年： 2016年 
JST資料番号： W1539A  ISSN： 1674-1056  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： トップ構造MgO/CoFeB/Moの磁気特性の詳細な研究を提示した。CoFeBの厚さは0.9nmと1.1nmのとき,試料は強い垂直磁気異方性(PMA)を示した。飽和磁気モーメントと界面異方性定数は1566emu/cm~3および3.75erg/cm 2であった。磁気デッド層(MDL)は,この系で約0.23nmであった。さらに,強いキャッピング層厚依存性も観測された。1.1nm CoFeBの強いPMAは1.2 2nmのMoキャップ層厚窓においてのみ存在する。PMAを維持するために,金属層は薄すぎまたはこれらの多層膜における厚さなかった。金属キャッピング層の酸化と拡散がこれらの薄いまたは厚い金属キャップ層試料中のPMAの分解にそれぞれ責任べきである。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *磁気異方性 ,  磁気モーメント ,  *層厚 ,  *垂直磁気異方性 ,  界面 ,  多層膜 ,  *モリブデン ,  *異方性 ,  *酸化マグネシウム ,  磁気的性質 ,  *磁気
準シソーラス用語： キャップ層 ,  *磁気トンネル接合 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 垂直磁気異方性 ,  キャッピング層 ,  有効磁気異方性 ,  磁気トンネル接合

分類 (1件)： 金属の磁気異方性・磁気機械効果  (BM06102S)

タイトルに関連する用語 (7件)： MgO ,  トップ ,  磁気トンネル接合 ,  垂直磁気異方性 ,  Mo ,  キャッピング層 ,  厚さ