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J-GLOBAL ID：201702278894618720   整理番号：17A0400956

油潤滑条件下での異なる窒素含有Ta CNx被覆のトライボロジー特性【Powered by NICT】

Tribological properties of ta-CNx coatings with different nitrogen content under oil lubrication conditions

著者 (6件)： Deng Xingrui (Department of Mechanical Science and Engineering, Graduate School of Engineering, Nagoya University, Nagoya, Japan) ,  Hattori Takafumi (Department of Mechanical Science and Engineering, Graduate School of Engineering, Nagoya University, Nagoya, Japan) ,  Umehara Noritsugu (Department of Mechanical Science and Engineering, Graduate School of Engineering, Nagoya University, Nagoya, Japan) ,  Kousaka Hiroyuki (Department of Mechanical Science and Engineering, Graduate School of Engineering, Nagoya University, Nagoya, Japan) ,  Manabe Kazuyoshi (Toyota Motor Corporation, Toyota, Japan) ,  Hayashi Keiji (Toyota Motor Corporation, Toyota, Japan)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 621  ページ： 12-18  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 窒化炭素(CNx)被覆は,要求される機械的およびトライボロジー用途に適した魅力的な特性の広い範囲を示した。本研究では,イオンビーム支援フィルタアーク蒸着(IBA FAD)法は四面体非晶質窒化炭素(Ta CNx)被覆の堆積のために開発した。窒素含有量の異なるTa CNx被覆は,それらのトライボロジー挙動に及ぼす窒素含有量の影響を調べるために,窒素流量を制御して堆積した。Ta CNx被覆の組成と構造をX線光電子分光法(XPS)とRaman分光法を用いて評価した。トライボロジー特性を油潤滑状態下でのボール・オン・ディスク摩擦試験機を用いて調べた。結果は,Ta CNx被覆の窒素含有量は,窒素イオン密度によって11at%の範囲に限定されていたことを示した。窒素は被覆中のsp~3炭素の割合を減少すると硬さは窒素含有量の増加とともに減少した。Ta CNx皮膜は油潤滑下で低摩擦を示し,最大値は8at.%の窒素を含む試料で得られたVIII11at%窒素を含むTa CNxは顕著に低い摩耗速度を示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 摩耗速度 ,  Raman分光法 ,  *窒素 ,  硬度 ,  円板 ,  *タンタル ,  *トライボロジー ,  摩擦試験 ,  四面体 ,  *被覆 ,  X線光電子分光法
準シソーラス用語： 低摩擦 ,  窒化炭素 ,  *トライボロジー特性 ,  *油潤滑 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 四面体非晶質窒化炭素 ,  窒素含有量 ,  境界潤滑 ,  トライボロジー特性

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (4件)： 油潤滑 ,  窒素 ,  Ta ,  トライボロジー特性