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J-GLOBAL ID：201702280270299985   整理番号：17A0289498

有限要素法によるオプチカルフラット面の変形解析

Deformation analysis of optical flat surface with finite element method

著者 (6件)： FU Pengqiang (Harbin Univ. Sci. and Technol., Harbin, CHN) ,  REN Boyuan (Harbin Univ. Sci. and Technol., Harbin, CHN) ,  WANG Yiwen (Harbin Univ. Sci. and Technol., Harbin, CHN) ,  ZHANG Dewei (Harbin Univ. Sci. and Technol., Harbin, CHN) ,  ZHANG Longjiang (Harbin Inst. Technol., Harbin, CHN) ,  SU Xing (Harbin Inst. Technol., Harbin, CHN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 9685  ページ： 96850Y.1-96850Y.6  発行年： 2016年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 工作機械スピンドルシステムの回転精度は,超高精度工作機械加工の正確性に影響を与える重要な要因である。スピンドル回転誤差試験結果を用いて,工作物の表面形状誤差を予測できる。本論文では,オプチカルフラット結晶の表面形状変形を,有限要素法を用いてシミュレートし,種々の底部接触材料,種々の締め付けの予め加えた力および種々のスピンドル速度で,オプチカルフラット結晶の変形分布を得た。種々の条件下で,光学平面の中間位置の形状変化が,最も小さかった。アルミニウム合金座金は,オプチカルフラット結晶のプロファイル正確性において,シリカゲルより小さな効果を有した。締め付けの予め加えた力およびスピンドル速度の増加に伴い,閉単結晶の全体変形も増加した。

シソーラス用語： *有限要素法 ,  *平坦性 ,  変形 ,  解析 ,  *スピンドル ,  工作機械 ,  締付 ,  アルミニウム合金 ,  結晶 ,  シリカゲル
準シソーラス用語： *オプチカルフラット ,  変形解析

分類 (1件)： 工作機械要素,ジグ,チャック  (QC01020Z)

タイトルに関連する用語 (3件)： 有限要素法 ,  オプチカルフラット ,  変形解析