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J-GLOBAL ID：201702280797708107   整理番号：17A0598743

強誘電体トンネル接合の性能に及ぼす外因的導入の受動界面層の影響

Effect of Extrinsically Introduced Passive Interface Layer on the Performance of Ferroelectric Tunnel Junctions

著者 (14件)： GUO Rui (National Univ. Singapore, Singapore) ,  WANG Ying (National Univ. Singapore, Singapore) ,  YOONG Herng Yau (National Univ. Singapore, Singapore) ,  CHAI Jianwei (Agency for Sci., Technol. and Res. (A*STAR), Singapore) ,  WANG Han (National Univ. Singapore, Singapore) ,  LIN Weinan (National Univ. Singapore, Singapore) ,  CHEN Shaohai (National Univ. Singapore, Singapore) ,  YAN Xiaobing (National Univ. Singapore, Singapore) ,  VENKATESAN Thirumalai (National Univ. Singapore, Singapore) ,  VENKATESAN Thirumalai (Univ. Nebraska, Nebraska, USA) ,  ARIANDO (National Univ. Singapore, Singapore) ,  GRUVERMAN Alexei (Univ. Nebraska, Nebraska, USA) ,  WU Yihong (National Univ. Singapore, Singapore) ,  CHEN Jingsheng (National Univ. Singapore, Singapore)
資料名： ACS Applied Materials & Interfaces  (ACS Applied Materials & Interfaces)
巻： 9  号： 6  ページ： 5050-5055  発行年： 2017年02月15日 
JST資料番号： W2329A  ISSN： 1944-8244  CODEN： AAMICK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 強誘電体を利用したトンネル接合の特性は,外因的に導入された界面層の影響を受ける。外因的導入の受動界面層として,上部電極と機能層の間の界面層に着目した。上部電極の形成により機能層に界面層が導入された。上部電極-機能層の界面が,強誘電体トンネル接合の性能に及ぼす影響について検討した。強誘電体には,BaTiO₃を利用した。上部電極には,Pt電極を利用した。半導体製造プロセスを使用して,界面に1つの受動層を誘起した。強誘電体トンネル接合での電流電圧特性を評価し,受動界面層の影響を示した。受動界面層は,BaTiO₃層の抗電場を増強し,トンネル電流の大きさを減少させることを示した。しかし,受動界面層を有するトンネル接合は,オンオフ比が1000倍以上になることが分かった。

シソーラス用語： *トンネル接合 ,  *強誘電体 ,  *境界層 ,  電流 ,  生産工程 ,  チタン酸バリウム ,  抗電場 ,  電流電圧特性
準シソーラス用語： トンネル電流 ,  *界面層 ,  実験結果 ,  製造プロセス

分類 (1件)： 界面の電気的性質一般  (BM03081H)

タイトルに関連する用語 (3件)： 強誘電体 ,  トンネル接合 ,  界面層