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J-GLOBAL ID：201702280828989781   整理番号：17A0116284

接触モードA FMにおける適用した垂直荷重の評価:従来の手法を用いた問題【Powered by NICT】

Assessing the applied normal load during contact mode AFM: An issue with the conventional approach

著者 (2件)： Al-Musawi Raheem Sadoon Jamel (Cardiff School of Engineering, Cardiff University, United Kingdom) ,  Brousseau Emmanuel (Cardiff School of Engineering, Cardiff University, United Kingdom)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： ICSAE  ページ： 119-122  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 通常,走査試料の表面を横切るその運動中の原子間力顕微鏡(A FM)プローブの先端に適用される垂直負荷は,水平力の不在を仮定して決定した。チップベースナノ加工実験に適用し,この仮定は,適用した垂直力の誤った推定をもたらすことを示した。本研究中に,位置有感フォトダイオード(PSPD)は片持梁プローブの背後からレーザビームの反射を監視するために使用されるがA FMは,光てこ法に基づくいわゆる「力制御」モードで運転した。通常,PSPDの感度は知られて一定と仮定した,垂直方向におけるその電圧出力はカンチレバー偏向と垂直負荷を決定するために利用されている。,水平力の作用により,PSPD感度は一定ではないことを示した。従って,PSPDの電圧出力をA FM装置のフィードバックループを介して一定に保たれている場合でも,A FM段階である静的場合チップベースナノ加工を用いて製造した溝が生成される圧痕の深さに等しくない。特に,その差は55%までであった。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： レーザビーム ,  原子間力顕微鏡 ,  偏向 ,  プローブ ,  フォトダイオード ,  *鉛直荷重 ,  力制御 ,  圧痕 ,  片持梁 ,  ナノメータ加工
準シソーラス用語： フィードバックループ ,  光てこ法 ,  垂直力 ,  水平力 ,  *コンタクトモード , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (5件)： 接触モード ,  Fm ,  垂直荷重 ,  評価 ,  手法