文献

J-GLOBAL ID：201702282059147395   整理番号：17A0443409

製造プロセス中の機械的および化学的欠陥による溶融シリカ表面のレーザ誘起損傷特性【Powered by NICT】

Laser-induced damage characteristics in fused silica surface due to mechanical and chemical defects during manufacturing processes

著者 (4件)： Li Yaguo (Fine Optical Engineering Research Center, Chengdu 610041, China) ,  Yuan Zhigang (Fine Optical Engineering Research Center, Chengdu 610041, China) ,  Wang Jian (Fine Optical Engineering Research Center, Chengdu 610041, China) ,  Xu Qiao (Research Center of Laser Fusion, China Academy of Engineering Physics, Mianyang 621900, China)
資料名： Optics & Laser Technology  (Optics & Laser Technology)
巻： 91  ページ： 149-158  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0245B  ISSN： 0030-3992  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 研削・研磨と同様に後処理による機械的及び化学的欠陥は,高いピーク電力/エネルギーレーザシステムにおけるレーザ電力/エネルギーの上昇を妨げる最も影響力のある原因として認識されている。レーザシステムの操作力を制限するための原因を見出すために,欠陥のレーザ損傷と除去と緩和に及ぼすこれらの欠陥の影響を詳細に調べた。亀裂と傷を作成,焼なまし,エッチングと損傷の影響を低減するための損傷と潜在的技術に及ぼす機械的欠陥の影響を明らかにするようにした。結果はHF型エッチングは亀裂/引かきを開き,平滑,>250%までスクラッチでのレーザ誘起損傷しきい値(LIDT)を改善できることを示した。熱アニーリングは,ある程度まで,治癒亀裂たがLIDTはほとんど改善した。両HFエッチングと浸出は溶融シリカの損傷/損傷密度に光学系の研磨プロセスと取り扱い,「寄与」できる中の金属汚染の除去に有効であることが分かった。しかし,HF型エッチングは表面粗さを劣化し,>20μm材料をエッチングし去ると,いくつかの条件下で<1nmから>20nmから可能性がある表面粗さは浸出(<1nmの1~2nm)により変化知覚した。LIDTは金属汚染物質または表面粗さの個々の種に直接相関しないかも知れないが,は最高のLIDTの表面は,いくつかの顕著な特性:清浄表面(ほとんどは金属汚染)と非常に滑らかな表面(RMS表面粗さ:<5nm)を有することが分かった。金属汚染とスクラッチを除去することにより,溶融シリカの表面損傷しきい値は>30J/cm~2(355nm@3ns,ビーム直径~400μm@1/e~2),著しい進歩を超えることができた。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 亀裂 ,  研磨 ,  電力 ,  *石英ガラス ,  焼なまし ,  後処理 ,  レーザシステム ,  *レーザ損傷 ,  エッチング ,  浸出 ,  *レーザ ,  表面損傷 ,  金属汚染 ,  熱アニーリング ,  スクラッチ ,  機械工作

著者キーワード (5件)： レーザ誘起損傷 ,  光製造 ,  溶融シリカ ,  亀裂と傷 ,  金属汚染

分類 (2件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： 製造プロセス ,  化学 ,  欠陥 ,  溶融シリカ ,  レーザ誘起損傷