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J-GLOBAL ID:201702285799438614   整理番号:17A0250285

GI-SAXS法によるブロックコポリマー/ホモポリマー混合系薄膜の構造解析

著者 (5件):
資料名:
巻: 74  号:ページ: 49-53(J-STAGE)  発行年: 2017年 
JST資料番号: G0122A  ISSN: 0386-2186  CODEN: KBRBA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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ポリスチレンポリメタクリル酸メチルジブロックコポリマー(PS-b-PMMA)薄膜中でのモルフォロジーに対する少量のホモポリマー添加効果をgrazing-incidence small angle X-ray scatteringにより調べた.作成した混合系はブロックコポリマー単体と同様に基板に垂直に配向したラメラ構造を自己組織化したが,混合系の長距離秩序が悪化していることが散乱関数の解析の結果わかった.(著者抄録)
シソーラス用語:
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分類 (3件):
分類
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高分子固体の構造と形態学  ,  有機化合物・錯体のX線スペクトル(分子)  ,  その他の物理分析 
引用文献 (11件):
  • 1) “ブロック共重合体の自己組織化技術の基礎と応用”, 竹中幹人, 長谷川博一監修, シーエムシー出版, 東京 (2013).
  • 2) “Nanolithography: The Art of Fabricating Nanoelectronic and Nanophotonic Devices and Systems (Woodhead Publishing Series in Electronic and Optical Materials)”, 1st edition, M. Feldman ed., Woodhead Publishing (2013).
  • 3) S. O. Kim, H. H. Solak, M. P. Stoykovich, N. J. Ferrier, J. J. dePablo, and P. F. Nealey, Nature, 424, 411 (2003).
  • 4) E. W. Edwards, M. P. Stoykovich, H. H. Solak, and P. F. Nealey, Macromolecules, 39, 3598 (2006).
  • 5) R. Ruiz, H. Kang, F. A. Detcheverry, E. Dobisz, D. S. Kercher, T. R. Alberecht, J. J. de Pablo, and P. F. Nealey, Science, 321, 936 (2008).
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