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J-GLOBAL ID：201702286186549645   整理番号：17A0123867

2.45GHzマイクロ波による石英棒周りの柱状表面波プラズマの特性【Powered by NICT】

The Characteristics of Columniform Surface Wave Plasma Excited Around a Quartz Rod by 2.45 GHz Microwaves

著者 (4件)： Wu Zhonghang (School of Medical Imaging, Shanghai University of Medicine and Health Sciences) ,  Liang Rongqing (Department of Light Sources and Illuminating Engineering, Fudan University) ,  Masaaki Nagatsu (Graduate School of Science and Engineering, Shizuoka University) ,  Chang Xijiang (School of Electronic and Electrical Engineering, Shanghai University of Engineering Science)
資料名： Dengliziti Kexue he Jishu(Yingwenban)  (Dengliziti Kexue he Jishu(Yingwenban))
巻： 18  号： 10  ページ： 987-991  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2608A  ISSN： 1009-0630  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 円筒テフロン導波路で励起した新しい表面波プラズマ(SWP)源を著者らの以前の研究で開発した。プラズマ特性を簡単に調べた。本研究では,著者らの実験装置はテフロン導波路を置換石英ロッドにより有意に改善していた,優れたマイクロ波結合と高いガス純度はプラズマ放電中に得ることができた。,半径方向と軸方向の両方で,プラズマ空間分布を測定し,ガス圧力の影響を調べた。プラズマ密度プロファイルは,このプラズマ源は,低圧,内管壁のような曲面上のプラズマ処理におけるその可能性を示すで軸方向に均一なプラズマを生成できることを示した。プラズマ励起の原理を説明するために使用されている単純化した円形導波管モデル。ハードウエアの改善とこの種のプラズマ源の特徴と応用の可能性を示した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *石英 ,  簡素化 ,  空間分布 ,  半径方向 ,  プラズマ密度 ,  プラズマ処理 ,  軸方向 ,  円筒 ,  プラズマ源 ,  *マイクロ波 ,  *プラズマ ,  導波路 ,  低圧
準シソーラス用語： *表面波プラズマ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 2.45GHzマイクロ波 ,  表面波プラズマ ,  円形導波管 ,  プラズマ診断

分類 (2件)： プラズマ装置  (BJ02082I) ,  プラズマ応用  (BJ02110K)

タイトルに関連する用語 (4件)： マイクロ波 ,  石英 ,  棒 ,  表面波プラズマ