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J-GLOBAL ID：201702287283689283   整理番号：17A0348396

応力隔離構造を持つねじり型加速度計【JST・京大機械翻訳】

A New Pendulous Capacitive Accelerometer With Stress Isolation Structure

著者 (5件)： Li Yuan (Key Disciplines Lab of Novel Micro-nano Devices and System Technology,Chongqing University, Key Lab.of Optoelectronic Technology &Systems,Ministry of Education) ,  Chen Li (Key Disciplines Lab of Novel Micro-nano Devices and System Technology,Chongqing University, Key Lab.of Optoelectronic Technology &Systems,Ministry of Education) ,  Tian Ying (Key Disciplines Lab of Novel Micro-nano Devices and System Technology,Chongqing University, Key Lab.of Optoelectronic Technology &Systems,Ministry of Education) ,  Zhao Bin (Key Disciplines Lab of Novel Micro-nano Devices and System Technology,Chongqing University, Key Lab.of Optoelectronic Technology &Systems,Ministry of Education) ,  Wang Yayun (Key Disciplines Lab of Novel Micro-nano Devices and System Technology,Chongqing University, Key Lab.of Optoelectronic Technology &Systems,Ministry of Education)
資料名： Yadian yu Shengguang  (Yadian yu Shengguang)
巻： 38  号： 6  ページ： 847-850  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2465A  ISSN： 1004-2474  CODEN： YASHE7  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： シリコン-ガラス結合プロセスに基づくねじり加速度計は,その出力がにの応力に敏感であるが,マイクロ加工の間,シリコンとガラスの2つの材料の熱膨張係数が不整合であるため,ねじれに大きな熱応力を導入し,加速度計の温度ドリフトを引き起こす。このために,応力分離構造を持つねじり型加速度計を提案した。緩衝器の内部の支持フレームの最適化組合せによって,熱応力をねじれに伝達することが難しくなり,それによって,加速度計の温度ドリフトを効果的に減少させることができた。ANSYSソフトウェアを用いて,加速度計のモードと熱応力を解析した。動作モードの固有振動数は1HZであり,他の干渉モードの周波数よりはるかに小さい。加速度計の感度は,0.386PF(G=9.8M/S2)であった。同じ条件の下で,分離構造を持たないねじり加速度計の熱応力は,ねじれの末端に集中し,そして,最大応力は,約100MPAであった。応力分離構造を持つ加速度計は,その熱応力が主に緩衝材梁に集中し,一方,ねじれの応力は約1.7MPAであり,前者の1.7%だけであった。シリコン-ガラス結合と誘導結合プラズマ(ICP)エッチング技術を用いて,加速度計チップの製作を完了した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： ケイ素 ,  *加速度計 ,  運転モード ,  熱膨張係数 ,  最適化 ,  固有振動数 ,  不整合 ,  緩衝材 ,  マイクロマシニング ,  熱応力 ,  *ねじり ,  誘導結合プラズマ
準シソーラス用語： 最大応力 ,  ANSYS ,  温度ドリフト , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： MEMS ,  accelerometer ,  thermal drift ,  stress isolation ,  ICP etch

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 応力 ,  隔離 ,  ねじり ,  加速度計