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J-GLOBAL ID：201702287751633802   整理番号：17A0381664

しゅう曲したMEMS IMU立方体上に集積したジャイロスコープのクロストークについて【Powered by NICT】

On cross-talk between gyroscopes integrated on a folded MEMS IMU Cube

著者 (10件)： Efimovskaya Alexandra (MicroSystems Laboratory, University of California, Irvine, CA, USA) ,  Lin Yu-Wei (MicroSystems Laboratory, University of California, Irvine, CA, USA) ,  Yang Yushi (Integrated Device Technology, Inc., San Jose, CA, USA) ,  Ng Eldwin (InvenSense, Inc., San Jose, CA, USA) ,  Chen Yunhan (Stanford University, Palo Alto, CA, USA) ,  Flader Ian (Stanford University, Palo Alto, CA, USA) ,  Ahn Chae H. (InvenSense, Inc., San Jose, CA, USA) ,  Hong Vu (Apple, Inc., Cupertino, CA, USA) ,  Kenny Thomas W. (Stanford University, Palo Alto, CA, USA) ,  Shkel Andrei M. (MicroSystems Laboratory, University of California, Irvine, CA, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MEMS  ページ： 1142-1145  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,高性能センサの集積化を可能にする折畳まれたMEMS法を用いて実現した小型慣性測定ユニット(IMU)を報告したが,成分間の低クロストークを提供した。折りたたみ可能なSi構造はMEMS技術を用いたウエハレベル上に作製した,Co作製または統合された単軸慣性センサを用いた,3次元構成に折畳まれ,完全なIMUを形成した。IMU立方体の側壁上のセンサからの電気信号は,パリレンに対する微量金属の密なネットワークを介して伝達され,これにより信号処理エレクトロニクスとの統合を可能にした。初めて,著者らは折畳まれた3D IMUセンサ間のクロストークを特性化した。実験結果はIMU立方体の異なる側壁上に同時に使った場合折畳まれたIMUプロセスは単一金型アプローチに有利,ジャイロスコープの角度ランダムウォーク(ARW)を示しているという証拠を提供した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 酔歩 ,  電気信号 ,  *ジャイロスコープ ,  一軸 ,  *褶曲運動 ,  *クロストーク ,  電子技術 ,  *MEMS ,  センサ ,  キャラクタリゼーション ,  三次元 ,  ケイ素
準シソーラス用語： Parylene ,  慣性センサ ,  *六面体 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 光通信方式・機器  (ND10000B) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： しゅう曲 ,  MEMS ,  IMU ,  立方体 ,  集積 ,  ジャイロスコープ ,  クロストーク