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J-GLOBAL ID：201702287816505443   整理番号：17A0303689

マイクロ金型インサートのニッケル・エレクトロフォーミングにおける厚み蒸着均一性の改善【Powered by NICT】

Improvement of thickness deposition uniformity in nickel electroforming for micro mold inserts

著者 (5件)： Jiang Bingyan (Central South University) ,  Weng Can (Central South University) ,  Zhou Mingyong (Central South University) ,  Lv Hui (Central South University) ,  Drummer Dietmar (Institute of Polymer Technology (Friedrich-Alexander-Universitat Erlangen-Nurnberg))
資料名： Journal of Central South University  (Journal of Central South University)
巻： 23  号： 10  ページ： 2536-2541  発行年： 2016年 
JST資料番号： W1117A  ISSN： 2095-2899  CODEN： JCSUBS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 厚み堆積は電鋳マイクロ金型インサートの適用に関する重要な問題である。エッジ濃度効果が不均一性の主要な源である。非導電性シールド,二次電極と可動カソードを採用した技術は,ニッケル電鋳プロセス間の厚みの堆積一様性を改善するために探索した。これらの技術について,可動陰極を持つマイクロ電鋳システムを特に開発した。16mm×16mmの電鋳試料の厚さ変化は,これら三法により150%からのそれぞれ35%,12%及び18%であった。これらの検証された方法を組み合わせて,マイクロレンズアレイのanickelmoldインサートは良好であった機械的特性と高い複製精度を有する電気鋳造した。射出成形プロセスに適用することができた。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 機械的性質 ,  不均一性 ,  複製 ,  *電鋳 ,  導電性 ,  射出成形 ,  蒸着 ,  *インサート
準シソーラス用語： マイクロレンズアレイ ,  濃度効果 ,  *マイクロ金型 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 堆積均一性 ,  ニッケル電鋳 ,  二次電極 ,  非導電性シールド ,  可動陰極 ,  マイクロモールドインサート

分類 (2件)： 光デバイス一般  (BD06010L) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： マイクロ金型 ,  インサート ,  ニッケル ,  エレクトロフォーミング ,  厚み ,  蒸着 ,  均一性