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J-GLOBAL ID：201702288088244087   整理番号：17A0013773

生体有毛細胞から着想したマイクロ流量センサの設計,製作,特性評価

Design, fabrication and characterization of micro flow sensor inspired by biological hair cell

著者 (4件)： Han Jun Sae (Department of Mechanical Engineering, Pohang University of Science and Engineering (POSTECH), Pohang, Republic of Korea) ,  Kim Chi Yeon (Hyundai Kefico Corporation, Gunpo-si, Republic of Korea) ,  Joh Cheeyoung (Agency for Defense Development, Jinhae-shi, Republic of Korea) ,  Park Seong Jin (Department of Mechanical Engineering, Pohang University of Science and Engineering (POSTECH), Pohang, Republic of Korea)
資料名： Microsystem Technologies  (Microsystem Technologies)
巻： 22  号： 9  ページ： 2329-2339  発行年： 2016年09月 
JST資料番号： W2056A  ISSN： 0946-7076  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 自然界の生物有毛細胞から着想を得て,マイクロ流量センサを設計,製作し特性を評価した。微小規模の人工有毛細胞センサを,1)魚の有毛細胞として働く高アスペクト比の繊毛構造と,2)流れによる抵抗力が実際に測定される機械受容体構造を考慮して設計した。毛細血管構造のパラメータは直径300μmおよび高さ2mmの静的モデリングに基づいて設計した。LIGAプロセスによるホットエンボス加工を用いて高アスペクト比の繊毛構造を作製した。四個の対称電極を備えた力感知抵抗器を用いて機械受容器を構成し,標的流れの方向と強さを分析した。センサの特性を水路を用いて調べた。信号の強さにより流速を検知し,流れ方向は四つの機械受容器からの信号を分析して識別した。Copyright 2015 Springer-Verlag Berlin Heidelberg Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *センサ ,  流量 ,  有毛細胞 ,  繊毛 ,  毛細血管 ,  *マイクロマシニング ,  エンボス加工 ,  *MEMS
準シソーラス用語： LIGA ,  フローセンサ ,  ホットエンボス加工 ,  *流量センサ

分類 (1件)： 流体の実験・試験・測定方法及び装置  (BC01020K)

タイトルに関連する用語 (7件)： 生体 ,  有毛細胞 ,  着想 ,  流量センサ ,  設計 ,  製作 ,  特性評価