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J-GLOBAL ID：201702290307474918   整理番号：17A0348421

バルク音響共振器の質量負荷等価量の定量化方法【JST・京大機械翻訳】

Mass-loading Equivalent Inductor Quantification Method for BAW Resonator

著者 (4件)： Yin Xiyang (School of Information Engineering,Southwest University of Science and Technology) ,  Gao Yang (Institute of Electronic Engineering,China Academy of Engineering Physics(hefei)) ,  Han Bin (School of Information Engineering,Southwest University of Science and Technology) ,  Huang Zhenhua (School of Information Engineering,Southwest University of Science and Technology)
資料名： Yadian yu Shengguang  (Yadian yu Shengguang)
巻： 38  号： 6  ページ： 868-872,876  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2465A  ISSN： 1004-2474  CODEN： YASHE7  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 質量負荷を受けるとき,共振器のBUTTERWORTH VAN DYKE(BVD)回路モデルにおいて,1つの質量負荷等価回路が増加し,このインダクタと負荷品質の間の定量的関係が得られる。本論文では,3Dマルチ物理場-等価回路シミュレーションのためのモデル化方法を提案して,BAWセンサのシステム挙動をシミュレーションした。COMSOL MULTIPHYSICSソフトウェアの3Dマルチフィールドシミュレーション結果とADSの等価回路シミュレーション結果を比較することによって,質量負荷などの負荷量と負荷品質の定量的関係を得た。本論文では,この方法の詳細なプロセスを紹介し,事例における定量的関係を得た。質量負荷などのインダクタンスは1NH増加し,負荷質量は0.1NG増加した。最後に,この量子化関係をPIERCE発振器に基づくBAWセンサの検出回路のシステムレベル挙動シミュレーションに適用した。シミュレーション結果により,質量負荷が1HZ増加し,振動数が6MHZ減少し,振動周波数の変化が等価回路シミュレーション結果と一致することを示し,その結果,この検出回路がBAWセンサの周波数信号の検出に使用できることを示した。この定量化法は水晶結晶微量天秤(QCM)にも適用できる。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 三次元 ,  回路モデル ,  インダクタンス ,  回路シミュレーション ,  等価回路 ,  モデリング ,  *音響共振器 ,  周波数 ,  シミュレーション ,  品質 ,  センサ ,  *共振器
準シソーラス用語： 水晶微量天秤 ,  検出回路 ,  COMSOL , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： BAW resonator ,  BAW sensor ,  MBVD model ,  Pierce oscillator ,  detection circuit

分類 (1件)： 共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (5件)： バルク ,  音響共振器 ,  質量 ,  等価 ,  定量化