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J-GLOBAL ID：201702291575420165   整理番号：17A0204199

ナノメータースケール窒化けい素懸濁膜導波路の分散特性【Powered by NICT】

Dispersion characteristics of nanometer-scaled silicon nitride suspended membrane waveguides

著者 (3件)： Bian Dandan (Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences) ,  Lei Xun (Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences) ,  Chen Shaowu (Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences)
資料名： Journal of Semiconductors  (Journal of Semiconductors)
巻： 37  号： 11  ページ： 114007-1-114007-7  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2377A  ISSN： 1674-4926  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 通信波長付近でナノメートルスケールの窒化けい素懸濁膜導波路の分散特性を調べ,導波路の重要な構造パラメータとの関係を系統的に調べた。シミュレーション結果は,懸垂膜導波路は400~600nmの範囲で比較的薄い窒化けい素厚さの異常分散を実現できることを示し,一方,同じ膜厚の,従来型のリブあるいはストリップ窒化けい素導波路は異常分散を支持できない。特に,導波路幅が990から1255nmの範囲に400nm窒化けい素厚さと深いエッチ深さ(r=0.05)を持つ導波路は通信波長付近で異常分散を示し,最大分散は22.56ps/(nm km)である。特別に設計された異常分散窒化けい素導波路カスケード四光波混合に必要な位相整合条件を満たす可能性のため,マイクロ共振器に基づく光周波数コムのための強く望まれている。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 位相整合 ,  構造パラメータ ,  膜厚 ,  *導波路 ,  微小共振器 ,  帯板 ,  通信 ,  懸垂 ,  四光波混合 ,  波長 ,  異常分散 ,  *窒化ケイ素
準シソーラス用語： 周波数コム ,  波長分散 ,  光周波数コム , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 懸濁導波路 ,  群速度分散 ,  分散工学 ,  周波数コム

分類 (1件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

タイトルに関連する用語 (3件)： 窒化けい素 ,  懸濁 ,  導波路