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J-GLOBAL ID:201702291699739374   整理番号:17A0397604

荷電ラップ仕上プレートの非破壊品質制御における簡易探査ツールとしてのレーザ反射

Laser Reflection as a Simple Prospect Tool for Nondestructive Quality Control of Charged Lapping Plates
著者 (5件):
資料名:
巻: 139  号:ページ: 021101.1-021101.6  発行年: 2017年03月 
JST資料番号: B0901A  ISSN: 0742-4787  CODEN: JOTRE9  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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HDD装置記録ヘッドの表面仕上には,従来から,ダイヤモンド荷電ラッピングプレートが用いられている。仕上表面測定における市販のレーザ干渉計は,高い安定性と精度を有するが,しかし,試料が小形で軽量な場合には,その活用において,諸元的な不便さが指摘されている。そこで,本研究では,回転荷電プレート表面方向の小型ダイオードレーザ鏡面反射要素を測定できる高精度で簡易な非破壊光学測定システムを提案した。その測定システムの構造の説明,ラッピングプレート・トポグラフィー(LPT)表面のin situ測定と光学的観察などから,次項の成果を紹介した。1)HDD装置メーカにおいて,高い精度と可搬性の測定ツールとなる,2)しかし,LPT表面の検定速度の観点から,更なる改善の課題が残っている。
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分類 (4件):
分類
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固体デバイス材料  ,  特殊加工  ,  潤滑一般  ,  レーザの応用 

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