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J-GLOBAL ID：201702291733953049   整理番号：17A0218988

Si(001)上PH₃分子の制御可能な解離

Controllable dissociations of PH₃ molecules on Si(001)

著者 (8件)： LIU Qin (Chinese Univ. Hong Kong, Hong Kong, CHN) ,  LIU Qin (Sci. and Technol. on Surface Physics and Chemistry Lab., Mianyang, CHN) ,  LEI Yanhua (South Univ. Sci. and Technol. of China, Guangdong, CHN) ,  SHAO Xiji (South Univ. Sci. and Technol. of China, Guangdong, CHN) ,  MING Fangfei (Chinese Univ. Hong Kong, Hong Kong, CHN) ,  XU Hu (South Univ. Sci. and Technol. of China, Guangdong, CHN) ,  WANG Kedong (South Univ. Sci. and Technol. of China, Guangdong, CHN) ,  XIAO Xudong (Chinese Univ. Hong Kong, Hong Kong, CHN)
資料名： Nanotechnology  (Nanotechnology)
巻： 27  号： 13  ページ： 135704,1-13  発行年： 2016年04月01日 
JST資料番号： W0108A  ISSN： 0957-4484  CODEN： NNOTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本稿では,走査トンネル顕微鏡(STM)によるSi(001)表面上の単一PH₃関連構造における電圧パルス誘起解離の系統的研究について報告した。超高真空チャンバ内に設置された可変温度STMを用いて,約0.02Ω・cm室温抵抗率のN型Si(001)ウエハで実験を行った。STM観察と第一原理計算を組み合わせることにより,5つのPH₃関連生成物の構成とPH_x(x=1,2,3)の振動モードを決定した。適切なバイアスおよび持続時間を有する電圧パルスを印加することにより,7つの新しいタイプの解離を達成した。解離速度は,パルスのバイアス電圧に大きく依存し,パルス電圧を増加させることにより,解離機構は多振動励起から単調励起へ移行した。著者等は,提案した選択的解離法は,原子スケールで表面化学を形成し,他の操作技術と組み合わせて,原子スケールのデバイスを構築する良い方法であることを示唆した。

シソーラス用語： *ホスフィン ,  ケイ素 ,  *解離 ,  走査型トンネル顕微鏡 ,  操作 ,  超高真空 ,  計算 ,  振動モード ,  電圧 ,  振動励起 ,  長さ ,  界面化学 ,  *可制御性
準シソーラス用語： Si ,  走査トンネル顕微鏡 ,  原子操作 ,  分子操作 ,  第一原理計算 ,  電圧パルス ,  バイアス電圧 ,  原子スケール ,  表面化学

分類 (1件)： 電子と分子の衝突・散乱  (BH07030A)

タイトルに関連する用語 (4件)： Si ,  PH3 ,  分子 ,  解離