特許
J-GLOBAL ID：202603000177162377
マイクロ波誘導プラズマによって粉末球形化を行う装置および方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
弁理士法人広江アソシエイツ特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：EP2021080779
特許番号：特許第7826308号
出願日： 2021年11月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 マイクロ波発生器(4)と、マイクロ波キャビティ(20)と、前記マイクロ波発生器を該マイクロ波キャビティに接続する導波管(6)と、前記マイクロ波キャビティ内に部分的に配置されたプラズマ管(3)と、該プラズマ管に接続されて該プラズマ管内に粉末前駆体流を供給する粉末供給部(2)と、前記プラズマ管に接続されて前記プラズマ管内にプロセスガス流を供給し、該プロセスガス流をマイクロ波放射線と結合させることにより、前記プラズマ管内にプラズマトーチを形成するガス供給部(1)と、を備え、圧縮空気供給部(9)をさらに備えることを特徴とする、マイクロ波誘導プラズマによって粉末球形化を行う装置であって、前記マイクロ波キャビティは、圧縮空気(91)用の少なくとも1つの開口部(25)を含み、これにより該圧縮空気(91)は、前記プラズマ管を外部から冷却することができ、前記ガス供給部が前記粉末供給部に接続されることにより、プロセスガス(11)が粉末前駆体(21)を前記プラズマ管内に搬送し、また前記プラズマトーチ内にも搬送することで、インフライト溶融によって前記粉末前駆体から凝集体(31)を作製する、 マイクロ波誘導プラズマによって粉末球形化を行う装置。
IPC (2件)：
H05H 1/30 ( 200 6.01)
, B22F 9/14 ( 200 6.01)
