瞬間結晶化によるガラス基板上への超高性能多結晶Si薄膜形成
| 体系的番号 |
JPMJPR09P3 |
| DOI |
https://doi.org/10.52926/JPMJPR09P3 |
研究代表者 |
大平 圭介 北陸先端科学技術大学院大学, マテリアルサイエンス研究科, 助教
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| 研究期間 (年度) |
2009 – 2012
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| 概要 | フラッシュランプアニール(FLA)を用いた瞬間結晶化により、安価なガラス基板上に形成される、膜厚1μm以上の高品質多結晶シリコン(poly-Si)薄膜の結晶化は、周期凹凸構造を形成しながら平面方向に進行します。本研究では、この結晶化機構を明確化するとともに、周期構造と太陽電池特性との関連性を明らかにすることで、太陽電池用材料としての高品質化への指針を得て、効率15%以上の低コスト薄膜poly-Si太陽電池を実現するための基盤技術を確立します。
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| 研究領域 | 太陽光と光電変換機能 |
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