太陽電池モジュール高精度インライン計測評価装置の開発

研究課題

体系的番号	JPMJSN11A2
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJSN11A2
研究責任者	藤原裕之岐阜大学, 工学部, 教授
研究期間 (年度)	2011 – 2013
概要	薄膜シリコン太陽電池モジュールの高効率化・低コスト化による飛躍的な普及拡大を目的とし、太陽電池構成層の非破壊・高精度評価が可能な分光エリプソメトリー技術を駆使したモジュール製造時のインライン評価技術と、太陽電池モジュールの局所太陽電池特性を直接評価可能な計測評価装置を新たに開発し、大面積モジュールに対する構造評価技術を太陽電池特性評価技術と統合した高精度インライン計測システムの構築を目指します。