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次世代パワーデバイス用窒化ガリウム基板の超精密研磨技術の開発
研究課題
産学が連携した研究開発成果の展開
研究成果展開事業
地域産学バリュープログラム
体系的課題番号
JPMJTM17E8
DOI
https://doi.org/10.52926/JPMJTM17E8
研究代表者
久保田 章亀
熊本大学, 大学院先端科学研究部(工), 准教授
研究期間 (年度)
2017 – (非公開)