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マスクレス露光装置 PALET

2022.05.01

「フォトリソをもっと身近に!」

 装置コスト1/5で試作効率10倍!?

 マスクレス露光装置 PALET

半導体・センサ等の試作を大幅に効率化
少量多品種のフォトリソグラフィーに最適!

 

デモ機あります!

詳細については下記”お問い合わ”せよりご連絡ください。

 

 

装置導入に関するこんなお悩みありませんか?
大型の露光設備は高額で手が出ない
場所の確保も容易ではない
マスク準備に時間がかかる (1日~数週間)
試作開発に対して高額な設備投資はなかなか難しい
(フォトマスク製作コスト含む)

 
 
マスクレス露光装置 PALETなら
そのお悩み解決できます

 



 

コンパクト
装置サイズを徹底的に小型化し、A3サイズの設置面積を実現しました。
もちろんマスクアライナなど追加の露光機は不要です。

※他にノートPCが付属します。加えて電動ステージモデルはステージドライバが付属します。

 

省労力
フローティング構造を採用することで振動を抑制し、防振台不要・真空吸着用エア源内蔵を実現。導入に際して障害となりやすい圧縮エア等のユーティリティを取り除きました。お客様にご用意いただくのは机と100V電源のみです。

※現像環境、及び感光防止環境はご用意ください。

 

手が届く価格設定
圧倒的なコストパフォーマンスを実現しました。さらにマスクレス露光装置としては異例の手動ステージモデルをラインナップ。
初期投資を抑えて研究環境を整えられます。

コストを抑えたいとお考えの場合は・・・・
 手動タイプ 490万円
(日本国内向け参考価格)
作業工数を減らしたいとお考えの場合は・・・
 電動タイプ 900万円
(日本国内向け参考価格)

マスクレス露光装置価格

 

マスクレス露光
フォトマスク不要のため、思いついたパターンをその場で露光できます。

※マスクレス露光とは
フォトマスクを使用せずに画像データで作成したパターンを露光することが可能です。
新規パターン製作時にフォトマスクの製作コストがかかりません。

 
 

製品タイプ

 

マイクロメータ付属
手動ステージタイプ

電動ステージタイプ

4インチ対応大型電動ステージタイプ

※価格についてはお問い合わせフォームよりお問い合わせください。

全モデル除震フロート機構、ワーク固定用真空引きポンプ内蔵
※4インチ対応モデルのみ、小型除震台付属(別途要コンプレッサー)
 
 

お問合せ

 

課題解決事例

 

 

お気軽にお問合せ下さい

 

製品詳細

 

企業情報

 

 会社名 ネオアーク株式会社
 会社設立 1976年3月22日
 資本金 資本金
 資本金 資本金
 役員 代表取締役 阪江 修
取締役   波多野 智
取締役   寺原 俊昭
監査役   田村 康久(社会保険労務士)
 従業員数 49名(2017年7月 現在)
 事業内容 レーザ光源、レーザ計測システム、 レーザ検査システム、
レーザ応用機器システム、 光磁気計測システム、 高周波、マイクロウェーブ用抵抗器、
その他関連機器、 及び情報処理に関するソフト等の製造販売、並びに輸出入

 

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