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J-GLOBAL ID：200902134368934109   整理番号：01A1029117

高感度磁気抵抗効果センサー用マンガナイト薄膜の選択的ドライエッチング

Selective dry etching of manganite thin films for high sensitive magnetoresistive sensors.

著者 (6件)： NAOE M (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  HAMAYA K (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  FUJIWARA N (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  TANIYAMA T (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  KITAMOTO Y (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  YAMAZAKI Y (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
資料名： Journal of Magnetism and Magnetic Materials  (Journal of Magnetism and Magnetic Materials)
巻： 235  号： 1/3  ページ： 223-226  発行年： 2001年10月 
JST資料番号： H0644A  ISSN： 0304-8853  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 微細構造のマンガナイト薄膜を作製するためにTiおよびAl製エ...

シソーラス用語： *巨大磁気抵抗効果 ,...
準シソーラス用語： 磁気抵抗センサ

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分類 (1件)： 磁電デバイス  (NC03100X)

タイトルに関連する用語 (5件)： 高感度 ,  磁気抵抗効果センサー ,  マンガナイト ,  薄膜 ,  ドライエッチング