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J-GLOBAL ID：200902140039669070   整理番号：02A0816616

ULSIダマシン銅配線用バリア層としての無電解NiBめっきの可能性

著者 (5件)： 吉野正洋 (早稲田大 理工) ,  野中佑一 (早稲田大 理工) ,  横島時彦 (早稲田大 理工) ,  中西卓也 (早稲田大 理工) ,  逢坂哲弥 (早稲田大 理工)
資料名： 表面技術協会講演大会講演要旨集
巻： 106th  ページ： 27  発行年： 2002年09月06日 
JST資料番号： Y0050A  ISSN： 0917-2947  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 超LSI ,...
準シソーラス用語： シリカ ,...

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分類 (1件)： 無電解めっき  (WC08024S)

タイトルに関連する用語 (7件)： ULSI ,  ダマシン ,  銅配線 ,  バリア層 ,  電解 ,  めっき ,  可能性