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J-GLOBAL ID：200902159081282006   整理番号：00A0265219

レーザ照射型熱画像法によるマイクロ欠陥の3次元位置情報同定の検討

Detecting 3-D position of micro defect used by infrared thermal imaging with laser irradiation.

著者 (4件)： 小林大悟 (大阪大 大学院) ,  岩田剛治 (大阪大 大学院) ,  藤本公三 (大阪大 大学院) ,  仲田周次 (大阪大 大学院)
資料名： Symposium on Microjoining and Assembly Technology in Electronics  (Symposium on Microjoining and Assembly Technology in Electronics)
巻： 6th  ページ： 91-96  発行年： 2000年02月03日 
JST資料番号： L2496A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 標記の方法を用いたコンピュータシミュレーションにより,電子装...

シソーラス用語： *レーザ照射 ,...
準シソーラス用語： 寸法 ,...

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分類 (2件)： 材料試験一般  (HB01000R) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (7件)： レーザ照射 ,  熱画像法 ,  マイクロ ,  欠陥 ,  3次元 ,  位置情報 ,  同定